[发明专利]一种基于柔顺并联机构的多自由度纳米定位平台

摘要

本发明涉及微纳加工与制造装置的技术领域，更具体地，涉及一种基于柔顺并联机构的多自由度纳米定位平台，运动支链包括第一运动支链以及第二运动支链；第一运动支链的一端与第一固定基座连接，另一端与末端执行器连接；第二运动支链的一端与第一固定基座连接，由第二固定基座提供支点，另一端与末端执行器连接。本发明的末端执行器在竖直方向可由多轴第二运动支链实现单自由度输出，通过纳米级精度的冗余驱动，实现竖直方向上高输出刚度、高作用力、大负载能力、高带宽和高精度，可作为微纳加工与制造等领域的主轴使用。

主权项

1.一种基于柔顺并联机构的多自由度纳米定位平台，其特征在于，包括第一固定基座、连接板、第二固定基座、末端执行器以及通过柔顺铰链传递力/位移/运动的运动支链：所述运动支链包括若干并联连接且位于同一平面的第一运动支链以及若干力/位移/运动的传递方向与所述平面垂直的第二运动支链，所述第一运动支链的一端与第一固定基座连接，另一端与末端执行器连接；所述第二运动支链一端贯穿连接板与第一固定基座连接，由第二固定基座提供支点，另一端与末端执行器连接；所述连接板设于第一固定基座与第二固定基座之间，所述第一固定基座设有若干与第一运动支链匹配的第一滑槽，第二固定基座设有若干与第一运动支链匹配的第二滑槽，所述第二滑槽贯穿第一固定基座和连接板设置；所述第一固定基座上设有用于测量预紧端位移、输入端位移、末端输出位移的电容传感器；所述末端执行器外接有用于携带不同类型负载的负载连接器。