[发明专利]用于片材连续沉积涂层的夹具及沉积装置

摘要

本发明提供了一种用于片材连续沉积涂层的夹具及沉积装置，涉及涂层沉积辅助设备技术领域。该夹具包括传动单元、第一样品台和若干个支座，第一样品台用于装载待沉积的片材，若干个支座位于第一样品台的下方用于支撑第一样品台，传动单元在外界驱动下能够带动第一样品台连续进给；该夹具可连续沉积片材面积大于沉积装置有效沉积范围的片材，极大得减少了沉积过程的一些中间步骤，大大提高了沉积效率、缩短了生产周期，降低了生产成本，同时减弱了频繁更换片材时对热丝造成的不利影响，延长了热丝的使用寿命，从而进一步降低了生产成本。本发明还提供一种沉积装置，包括炉体，上述用于片材连续沉积涂层的夹具位于炉体内并对片材进行装载。

主权项

1.一种用于片材连续沉积涂层的夹具，其特征在于，包括传动单元、第一样品台和若干个支座；所述第一样品台用于装载待沉积的片材，若干个所述支座位于所述第一样品台的下方用于支撑所述第一样品台；所述传动单元能够在外界驱动下带动所述第一样品台连续进给。