[发明专利]单晶炉隔离阀板移动装置

摘要

本发明公开了一种单晶炉隔离阀板移动装置，包括阀体，阀体包括上板、下板，下板上设有开口，阀体内设置隔离阀板，隔离阀板封堵所述的开口，隔离阀板一个端面与所述的下板上端面贴合以封堵开口，另一个端面设有旋转臂，旋转臂固定连接主轴，主轴下端安装在下板上的下轴套内，主轴上端穿过安装在上板上的上轴套并与设置在上板上端面的提升气缸固定连接，提升气缸的提升方向为主轴轴线方向，主轴上端具有长条形孔，上板上端面还设有驱动所述主轴转动的驱动机构。在单晶炉作业过程中，采用隔离阀板移动装置，有效的提高了作业的简单化，降低劳动强度和成本，彻底解决了原技术作业产生的炉体空间浪费、晶棒拉制长度受限的现象。

主权项

1.单晶炉隔离阀板移动装置，包括阀体，阀体包括上板、下板，下板上设有开口，阀体内设置隔离阀板，隔离阀板封堵所述的开口，其特征在于，隔离阀板一个端面与所述的下板上端面贴合以封堵开口，另一个端面设有旋转臂，旋转臂固定连接主轴，主轴下端安装在下板上的下轴套内，主轴上端穿过安装在上板上的上轴套并与设置在上板上端面的提升气缸固定连接，提升气缸的提升方向为主轴轴线方向，主轴上端具有长条形孔，上板上端面还设有驱动所述主轴转动的驱动机构，驱动机构包括Y型接头、气缸、销轴，Y型接头包括主接头以及两个副接头，销轴沿主轴径向穿过长条形孔且该销轴两端分别连接一个副接头，副接头连接主接头，主接头铰连接气缸，气缸安装在上板上。