[发明专利]单晶炉隔离阀板移动装置在审
申请号: | 201811221036.7 | 申请日: | 2018-10-19 |
公开(公告)号: | CN109253266A | 公开(公告)日: | 2019-01-22 |
发明(设计)人: | 周波 | 申请(专利权)人: | 浙江晶阳机电有限公司 |
主分类号: | F16K1/32 | 分类号: | F16K1/32;F16K31/12;C30B29/06;C30B15/00 |
代理公司: | 嘉兴启帆专利代理事务所(普通合伙) 33253 | 代理人: | 吴宏宇 |
地址: | 314000 浙江省嘉*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 隔离阀 上板 移动装置 上端 单晶炉 下板 开口 提升气缸 上端面 旋转臂 阀体 封堵 固定连接主轴 长度受限 长条形孔 技术作业 炉体空间 驱动机构 轴线方向 主轴转动 作业过程 拉制 上轴套 下轴套 晶棒 贴合 下端 体内 穿过 驱动 | ||
1.单晶炉隔离阀板移动装置,包括阀体,阀体包括上板、下板,下板上设有开口,阀体内设置隔离阀板,隔离阀板封堵所述的开口,其特征在于,隔离阀板一个端面与所述的下板上端面贴合以封堵开口,另一个端面设有旋转臂,旋转臂固定连接主轴,主轴下端安装在下板上的下轴套内,主轴上端穿过安装在上板上的上轴套并与设置在上板上端面的提升气缸固定连接,提升气缸的提升方向为主轴轴线方向,主轴上端具有长条形孔,
上板上端面还设有驱动所述主轴转动的驱动机构,驱动机构包括Y型接头、气缸、销轴,Y型接头包括主接头以及两个副接头,销轴沿主轴径向穿过长条形孔且该销轴两端分别连接一个副接头,副接头连接主接头,主接头铰连接气缸,气缸安装在上板上。
2.如权利要求1所述的单晶炉隔离阀板移动装置,其特征在于,主轴上固定有轴水套,轴水套径向固定连接旋转臂。
3.如权利要求1所述的单晶炉隔离阀板移动装置,其特征在于,下轴套包括固定在下板上的轴端支撑座以及与该轴端支撑座过盈配合的下铜套,下铜套与穿过该下铜套的主轴间隙配合,轴端支撑座与所述下板之间密封配合。
4.如权利要求1所述的单晶炉隔离阀板移动装置,其特征在于,上轴套包括上安装座、上铜套,上安装座固定在上板上且与所述上板密封配合,上铜套与所述上安装座过盈配合,上铜套与穿过该上铜套的主轴间隙配合。
5.如权利要求4所述的单晶炉隔离阀板移动装置,其特征在于,上安装座上固定有提升气缸安装座,提升气缸安装座上固定安装提升气缸。
6.如权利要求1所述的单晶炉隔离阀板移动装置,其特征在于,主接头为连接销,连接销连接单肘接头,单肘接头连接气缸。
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