[发明专利]单晶炉隔离阀板移动装置

说明书

本发明公开了一种单晶炉隔离阀板移动装置，包括阀体，阀体包括上板、下板，下板上设有开口，阀体内设置隔离阀板，隔离阀板封堵所述的开口，隔离阀板一个端面与所述的下板上端面贴合以封堵开口，另一个端面设有旋转臂，旋转臂固定连接主轴，主轴下端安装在下板上的下轴套内，主轴上端穿过安装在上板上的上轴套并与设置在上板上端面的提升气缸固定连接，提升气缸的提升方向为主轴轴线方向，主轴上端具有长条形孔，上板上端面还设有驱动所述主轴转动的驱动机构。在单晶炉作业过程中，采用隔离阀板移动装置，有效的提高了作业的简单化，降低劳动强度和成本，彻底解决了原技术作业产生的炉体空间浪费、晶棒拉制长度受限的现象。

技术领域

本发明涉及单晶炉，具体涉及一种单晶炉隔离阀板移动装置。

背景技术

单晶炉是多晶硅转化为单晶硅工艺过程中的必备设备，而单晶硅又是光伏发电和半导体行业中的基础原料。单晶硅作为现代信息社会的关键支撑材料，是目前世界上最重要的单晶材料之一，它不仅是发展计算机与集成电路的主要功能材料，也是光伏发电利用太阳能的主要功能材料。

单晶炉的隔离阀板移动装置的作用如下：在单晶硅拉制过程中，通过隔离阀板移动装置将隔离阀板移开或闭合，减少作业劳动强度，防止隔离阀板关不严，造成单晶硅被氧化等问题。一般的单晶炉隔离阀都没有隔离阀板移动装置，都是采用翻转隔离阀板的方式，容易造成隔离阀芯翻转占用空间大，影响单晶棒拉制长度受限等现象。

发明内容

针对上述技术问题，本发明提供了一种单晶炉隔离阀板移动装置，在单晶炉作业过程中，采用隔离阀板移动装置，有效的提高了作业的简单化，降低劳动强度和成本，彻底解决了原技术作业产生的炉体空间浪费、晶棒拉制长度受限的现象。

为解决上述技术问题，本发明采用的一个技术方案是：单晶炉隔离阀板移动装置，包括阀体，阀体包括上板、下板，下板上设有开口，阀体内设置隔离阀板，隔离阀板封堵所述的开口，隔离阀板一个端面与所述的下板上端面贴合以封堵开口，另一个端面设有旋转臂，旋转臂固定连接主轴，主轴下端安装在下板上的下轴套内，主轴上端穿过安装在上板上的上轴套并与设置在上板上端面的提升气缸固定连接，提升气缸的提升方向为主轴轴线方向，主轴上端具有长条形孔，

上板上端面还设有驱动所述主轴转动的驱动机构，驱动机构包括Y型接头、气缸、销轴，Y型接头包括主接头以及两个副接头，销轴沿主轴径向穿过长条形孔且该销轴两端分别连接一个副接头，副接头连接主接头，主接头铰连接气缸，气缸安装在上板上。

作为上述方案的优选，主轴上固定有轴水套，轴水套径向固定连接旋转臂。

作为上述方案的优选，下轴套包括固定在下板上的轴端支撑座以及与该轴端支撑座过盈配合的下铜套，下铜套与穿过该下铜套的主轴间隙配合，轴端支撑座与所述下板之间密封配合。

作为上述方案的优选，上轴套包括上安装座、上铜套，上安装座固定在上板上且与所述上板密封配合，上铜套与所述上安装座过盈配合，上铜套与穿过该上铜套的主轴间隙配合。

作为上述方案的优选，上安装座上固定有提升气缸安装座，提升气缸安装座上固定安装提升气缸。

作为上述方案的优选，主接头为连接销，连接销连接单肘接头，单肘接头连接气缸。

本发明的有益效果是：在单晶炉作业过程中，采用隔离阀板移动装置，有效的提高了作业的简单化，降低劳动强度和成本，彻底解决了原技术作业产生的炉体空间浪费、晶棒拉制长度受限的现象；

隔离阀板移动装置，减少人工旋转和升降隔离阀阀板的时间和劳动强度，提高控制的准确性；

隔离阀板移动装置，利用气缸实现隔离阀阀板的升降和移动，替代了以前隔离阀阀板只能翻转，降低真空度不够等因素对设备的影响，同时，因为其使用性强，便于推广。

附图说明