[发明专利]一种由气流引起的光学镜面加工检测误差修正方法有效
| 申请号： | 201811214181.2 | 申请日： | 2018-10-18 |
| 公开（公告）号： | CN109341526B | 公开（公告）日： | 2021-07-30 |
| 发明（设计）人： | 程刚;黄玉福;徐庭钰;顾伟;郭锋;张来宾 | 申请（专利权）人： | 山东中衡光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 周敏 |
| 地址： | 277800 山东省枣庄市枣庄高新区*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 一种由气流引起的光学镜面加工检测误差修正方法，属于光学加工领域，包括，测量光学镜面的加工尺寸和光学镜面表面的气流值；将测量的加工尺寸和气流值输入误差处理系统，通过误差处理程序得出误差处理结果；将误差处理结果通过总线传输至光学镜面加工控制系统，镜面加工控制系统通过运动控制函数规划修正运动轨迹，并将修正后的数据发送给光学镜面加工执行机构，实现控制光学镜面加工执行机构完成镜面加工修正动作。本发明的光学镜面加工检测误差修正方法，克服了由于气流变化导致的光学镜面检测结果不准确的问题，提高了测量结果可靠性；与光学镜面加工执行机构的反馈控制能够自动调整加工过程，提高了光学镜面加工精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 气流 引起 光学 加工 检测 误差 修正 方法 | ||
【主权项】：
1.一种由气流引起的光学镜面加工检测误差修正方法，其特征在于，包括步骤：S1：测量光学镜面的加工尺寸和光学镜面表面的气流值；S2：将测量的加工尺寸和气流值输入误差处理系统，通过误差处理程序得出误差处理结果；S3：将误差处理结果通过总线传输至光学镜面加工控制系统，镜面加工控制系统通过运动控制函数规划修正运动轨迹，并将修正后的数据发送给光学镜面加工执行机构，实现控制光学镜面加工执行机构完成镜面加工修正动作。
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