[发明专利]一种由气流引起的光学镜面加工检测误差修正方法

权利要求书

1.一种由气流引起的光学镜面加工检测误差修正方法，其特征在于，包括步骤：

S1：通过干涉仪测量光学镜面的加工尺寸，通过气流检测装置测量光学镜面表面的气流值，连续测量6次，并将测得6对数据分为两组；

S2：将测量的两组加工尺寸和气流值数据输入误差处理系统，误差处理系统进行两组数据的显著差异性比较，对数据差异性不显著的一组数据求取其算术平均数，求取结果为误差处理结果；

S3：将误差处理结果通过总线传输至光学镜面加工控制系统，镜面加工控制系统通过运动控制函数规划修正运动轨迹，并将修正后的数据发送给光学镜面加工执行机构，实现控制光学镜面加工执行机构完成镜面加工修正动作。

2.根据权利要求1所述的一种由气流引起的光学镜面加工检测误差修正方法，其特征在于，所述光学镜面加工控制系统为工控机，所述光学镜面加工执行机构为光学镜面加工机器人。

3.根据权利要求1所述的一种由气流引起的光学镜面加工检测误差修正方法，其特征在于，光学镜面加工执行机构在进行误差修正同时，向镜面加工控制系统反馈修正情况。

4.根据权利要求3所述的一种由气流引起的光学镜面加工检测误差修正方法，其特征在于，镜面加工控制系统中具有数据存储模块，数据存储模块存储所述光学镜面的加工尺寸、所述光学镜面表面的气流值和所述误差处理结果。

5.根据权利要求4所述的一种由气流引起的光学镜面加工检测误差修正方法，其特征在于，在光学镜面加工检测时，镜面加工控制系统对比相同气流变化所对应的前次误差处理结果，若当前误差处理结果与光学镜面加工控制系统所设定的加工要求之间的差值超过阈值时，判定光学镜面加工控制系统或光学镜面加工执行机构出现故障，并发出需要进行检修和调整信号。