[发明专利]一种由气流引起的光学镜面加工检测误差修正方法

说明书

一种由气流引起的光学镜面加工检测误差修正方法，属于光学加工领域，包括，测量光学镜面的加工尺寸和光学镜面表面的气流值；将测量的加工尺寸和气流值输入误差处理系统，通过误差处理程序得出误差处理结果；将误差处理结果通过总线传输至光学镜面加工控制系统，镜面加工控制系统通过运动控制函数规划修正运动轨迹，并将修正后的数据发送给光学镜面加工执行机构，实现控制光学镜面加工执行机构完成镜面加工修正动作。本发明的光学镜面加工检测误差修正方法，克服了由于气流变化导致的光学镜面检测结果不准确的问题，提高了测量结果可靠性；与光学镜面加工执行机构的反馈控制能够自动调整加工过程，提高了光学镜面加工精度。

技术领域

本发明涉及光学镜面加工检测技术，具体涉及一种由气流引起的光学镜面加工检测误差修正方法。

背景技术

光学元件在天文观测系统、激光核聚变装置、精密光学测量仪器及其他国防和民用领域具有重要应用，如今的光学制造能力仍不能充分满足光学元件在产品加工精度以及表面/亚表面中质量的要求。光学元件的表面质量是决定光学系统性能的关键因素，较差的表面质量会降低分辨率，其散射会降低将造成很大的能量损失，同时在光路中带入大量杂光，从而使整个系统的性能指标大大降低，严重时根本无法成像。检测技术的可靠性是保证大口径镜面加工质量的重要因素，目前对光学元件检测的主要方法是通过干涉仪测量实现的干涉检测法，随着口径和中心曲率半径的增加，环境的影响已经成为不可忽略的因素。气流的变化将引起空气折射率的不均匀，使得空气成为非均匀介质，导致波面变形，从而影响检测结果，现如今，虽然高精度的干涉仪产品具有环境补偿功能，但由于环境中气流变化的连续性以及不定性，进行实时补偿后的检测值仍具有一定的误差，并不能十分准确的反应当前的光学镜面加工质量。现有的光学镜面加工过程容易产生误差累积，从而会降低光学镜面的加工精度，在某一光学镜面加工步骤完成后，常常对已加工的镜面进行检测以验证上一加工步骤的加工质量及修正上一加工步骤所产生的加工误差，从而进一步提高光学镜面整体的加工质量，但检测时由于受到气流的影响，所检测的值并不能十分准确的反应当前光学镜面的加工质量，从而在检测过程中又产生检测误差。

发明内容

本发明的目的在于提供一种由气流引起的光学镜面加工检测误差修正方法，以提高光学镜面加工检测误差修正的精度，以克服现有的光学镜面加工过程容易产生误差累积导致的光学镜面加工精度低的缺陷。

为实现以上发明目的，本发明的技术方案如下：

一种由气流引起的光学镜面加工检测误差修正方法，包括步骤：

S1：测量光学镜面的加工尺寸和光学镜面表面的气流值；

S2：将测量的加工尺寸和气流值输入误差处理系统，通过误差处理程序得出误差处理结果；

S3：将误差处理结果通过总线传输至光学镜面加工控制系统，镜面加工控制系统通过运动控制函数规划修正运动轨迹，并将修正后的数据发送给光学镜面加工执行机构，实现控制光学镜面加工执行机构完成镜面加工修正动作。

作为本发明进一步改进的技术方案，所述步骤S1具体包括：通过干涉仪测量光学镜面的加工尺寸，通过气流检测装置测量光学镜面表面的气流值。

作为本发明进一步改进的技术方案，所述步骤S1具体包括：通过干涉仪测量光学镜面的加工尺寸，通过气流检测装置测量光学镜面表面的气流值，连续测量6次，并将测得6对数据分为两组；

步骤S2具体包括：将测量的两组加工尺寸和气流值数据输入误差处理系统，通过误差处理程序得出误差处理结果。

作为本发明进一步改进的技术方案，所述步骤S2具体包括：将测量的两组加工尺寸和气流值数据输入误差处理系统，误差处理系统进行两组数据的显著差异性比较，对数据差异性不显著的一组数据求取其算术平均数，求取结果为误差处理结果。

作为本发明进一步改进的技术方案，所述光学镜面加工控制系统为工控机，所述光学镜面加工执行机构为光学镜面加工机器人。