[发明专利]采用金属定电极的电极单端悬浮型电容压力传感器

摘要

本发明涉及一种采用金属定电极的电极单端悬浮型电容压力传感器，包括定、动电极单端悬浮结构体，其技术要点是：定电极为一体式金属定电极，其由盘状金属下结构体和柱状金属上结构体组成，柱状金属上结构体的上端外周利用含金的银铜合金焊料钎焊有蓝宝石环，蓝宝石环的外周与定电极悬浮外壳顶部开设的通孔利用含金的银铜合金焊料钎焊在一起，定电极悬浮外壳和金属定电极分别采用与蓝宝石环的热膨胀系数相同或匹配的恒弹性合金制作而成，定电极悬浮外壳和金属定电极表面镀金。解决了动、定电极的材料膨胀系数不同引起的测量误差的问题，而且真空度的形成和稳定性好，极大的提高了生产效率，降低了生产成本。

主权项

1.一种采用金属定电极的电极单端悬浮型电容压力传感器，包括利用薄壁刃口相对焊接的定电极单端悬浮结构体和动电极单端悬浮结构体，定电极单端悬浮结构体包括定电极悬浮外壳、封接于定电极悬浮外壳顶部的定电极，动电极单端悬浮结构体包括带引压口的下夹持悬浮座、上夹持环、夹持固支于带引压口的下夹持悬浮座和上夹持环之间的动电极，下夹持悬浮座的上表面和上夹持环的下表面分别设有与动电极受力形变匹配的抛物凹面以及位于抛物凹面外周的环形固支平面，上夹持环上端为不受约束自由端，其特征在于：所述定电极为一体式金属定电极，其由盘状金属下结构体和柱状金属上结构体组成，所述盘状金属下结构体的下端为不受约束自由端且底面设有与动电极受力形变匹配的抛物凹面形定电极面，且抛物凹面形定电极面上设有绝缘膜层，所述柱状金属上结构体的上端外周利用含金的银铜合金焊料钎焊有蓝宝石环，所述蓝宝石环的外周与定电极悬浮外壳顶部开设的通孔利用含金的银铜合金焊料钎焊在一起，所述盘状金属下结构体的顶面与定电极悬浮外壳的顶部内壁之间留有间隙，所述盘状金属下结构体的外周面与上夹持环的内环面之间留有间隙，所述定电极悬浮外壳和金属定电极分别采用与蓝宝石环的热膨胀系数相同或匹配的恒弹性合金制作而成，所述定电极悬浮外壳和金属定电极表面镀金。