[发明专利]一种柔性可拉伸光波导感知器件及其制备方法在审
| 申请号： | 201811209836.7 | 申请日： | 2018-10-17 |
| 公开（公告）号： | CN109188606A | 公开（公告）日： | 2019-01-11 |
| 发明（设计）人： | 吴豪;彭望;尹周平 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学 |
| 主分类号： | G02B6/13 | 分类号： | G02B6/13 |
| 代理公司： | 华中科技大学专利中心 42201 | 代理人： | 张彩锦;曹葆青 |
| 地址： | 430074 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明属于光波导感知器件制备领域，并具体公开了一种柔性可拉伸光波导感知器件及其制备方法，该器件采用如下步骤制备：制备PVA牺牲层及硅光栅模板；对硅光栅模板的表面进行疏水处理；将两块经疏水处理的硅光栅模板置于牺牲层上，并保持光栅方向一致且光栅面朝上；将配置的未固化的柔性材料溶液旋涂在牺牲层上，并覆盖牺牲层上的硅光栅模板，然后加热固化；将固化后获得的器件整体放置于水中以溶解牺牲层，然后剥离硅片光栅模板，获得由柔性材料制成的柔性可拉伸光波导感知器件。本发明充分发挥柔性光波导的可拉伸性和弯曲性，具有制备工艺简单，操作方便等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 牺牲层 制备 感知器件 光栅模板 光波导 拉伸 柔性材料 疏水处理 柔性光波导 光栅方向 硅片光栅 加热固化 可拉伸性 整体放置 制备工艺 光栅面 配置的 弯曲性 未固化 朝上 水中 旋涂 固化 溶解 剥离 覆盖 | ||
【主权项】：
1.一种柔性可拉伸光波导感知器件的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：S1利用旋涂法在硅片表面旋涂PVA溶液，固化后获得PVA薄膜以作为牺牲层；S2利用刻蚀法在另一硅片上制备具有周期性结构的硅光栅模板；S3对制备获得的硅光栅模板的表面进行疏水处理；S4将两块经疏水处理的硅光栅模板置于牺牲层上，并保持光栅方向一致且光栅面朝上；S5将配置的未固化的具有光学透明性的柔性材料溶液旋涂在牺牲层上，并覆盖牺牲层上的硅光栅模板，然后加热固化；S6将步骤S5固化后获得的器件整体放置于水中以溶解牺牲层，然后剥离硅片光栅模板，即获得由柔性材料制成的柔性可拉伸光波导感知器件。
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