[发明专利]物理量传感器、电子设备以及汽车有效
| 申请号： | 201811200076.3 | 申请日： | 2018-10-16 |
| 公开（公告）号： | CN109682993B | 公开（公告）日： | 2022-03-22 |
| 发明（设计）人： | 成濑敦纪 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 张永明;玉昌峰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供具有较高的检测精度的物理量传感器、电子设备以及移动体。物理量传感器(1)具备：作为支承基板的基部(2)，设置有在一侧开口的腔室(21a)；可动部(52)，形成于腔室(21a)的开口侧，并能够沿第一方向位移；以及弹簧部(53、54)，形成于腔室(21a)的开口侧，并与可动部(52)连接，弹簧部(53、54)的沿与第一方向交叉且基部(2)和可动部(52)重叠的方向即第二方向的长度(H1)小于可动部(52)的沿第二方向的长度(H2)，并且大于弹簧部(53、54)的沿第一方向的长度(W)。 | ||
| 搜索关键词： | 物理量 传感器 电子设备 以及 汽车 | ||
【主权项】：
1.一种物理量传感器，其特征在于，具备：支承基板，设置有在一侧开口的凹部；可动部，形成于所述凹部的开口侧，并能够沿第一方向位移；以及弹簧部，形成于所述凹部的开口侧，并与所述可动部连接，所述弹簧部的沿第二方向的长度小于所述可动部的沿所述第二方向的长度，并且大于所述弹簧部的沿所述第一方向的长度，所述第二方向与所述第一方向交叉并且是所述支承基板和所述可动部重叠的方向。
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