[发明专利]荷电粒子线装置及扫描电子显微镜有效
| 申请号： | 201811187800.3 | 申请日： | 2015-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN109585245B | 公开（公告）日： | 2021-03-23 |
| 发明（设计）人： | 熊本和哉;松田定好 | 申请（专利权）人： | 松定精度株式会社 |
| 主分类号： | H01J37/141 | 分类号： | H01J37/141;H01J37/20;H01J37/21;H01J37/244;H01J37/28 |
| 代理公司： | 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315 | 代理人： | 南霆;程爽 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本申请提供一种荷电粒子线装置具备：荷电粒子源；加速电源，设置来加速从所述荷电粒子源射出的荷电粒子线，并连接于所述荷电粒子源；及物镜透镜26，将所述荷电粒子线聚焦于试料。物镜透镜相对于试料，设置于所述荷电粒子线的入射侧的相反侧；且形成所述物镜透镜的磁极具有：中心磁极，其中心轴与所述荷电粒子线的理想光轴一致；上部磁极；筒形的侧面磁极；及圆盘形状的下部磁极；其中，靠近于所述中心磁极的试料侧的上部中，所述上部附近的径为较小的形状，所述中心磁极的下部为圆柱形状；所述上部磁极为中心形成圆形的开口部的磁极，且为于朝向中心的盘状的靠近所述中心磁极的中心侧较薄的圆盘形状。 | ||
| 搜索关键词： | 粒子 线装 扫描 电子显微镜 | ||
【主权项】：
1.一种荷电粒子线装置，具备：荷电粒子源；加速电源，设置来加速从所述荷电粒子源射出的荷电粒子线，并连接于所述荷电粒子源；第一物镜透镜，相对于试料，设置于所述荷电粒子线的入射侧，将所述荷电粒子线聚焦于所述试料；第二物镜透镜，相对于试料，设置于所述荷电粒子线的入射侧的相反侧，将所述荷电粒子线聚焦于所述试料；第一物镜透镜电源，变换所述第一物镜透镜的强度；第二物镜透镜电源，变换所述第二物镜透镜的强度；其中，仅使用所述第一物镜透镜电源时，所述试料配置于所述第一物镜透镜与所述第二物镜透镜之间；及仅使用所述第二物镜透镜电源时，所述第二物镜透镜与试料测定面的距离比第一物镜透镜与试料测定面的距离更靠近。
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