[发明专利]一种用于蓝宝石衬底的碳化硅涂层及其制备方法有效
| 申请号： | 201811167472.0 | 申请日： | 2018-10-08 |
| 公开（公告）号： | CN110357665B | 公开（公告）日： | 2021-12-28 |
| 发明（设计）人： | 汪洋;万强;柴攀;其他发明人请求不公开姓名 | 申请（专利权）人： | 湖南德智新材料有限公司 |
| 主分类号： | C04B41/87 | 分类号： | C04B41/87 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 | 代理人： | 娜拉 |
| 地址： | 412000 湖南省株洲市天元区中*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于蓝宝石衬底的碳化硅涂层及其制备方法；一种用于蓝宝石衬底的碳化硅涂层，包括：所述碳化硅晶须结合在蓝宝石衬底的表面；在结合碳化硅晶须的蓝宝石衬底的表面，结合碳化硅涂层；所述碳化硅晶须镶嵌于碳化硅涂层中。本发明所述的用于蓝宝石衬底的碳化硅涂层韧性强，工作温度高，热稳定性能好，工作可靠性高，不易脱落，应用范围广。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 蓝宝石 衬底 碳化硅 涂层 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于蓝宝石衬底的碳化硅涂层，其特征在于，包括：碳化硅晶须和碳化硅涂层，所述碳化硅晶须结合在蓝宝石衬底的表面；在结合碳化硅晶须的蓝宝石衬底的表面，结合碳化硅涂层；所述碳化硅晶须镶嵌于碳化硅涂层中。
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