[发明专利]倍缩光罩的检测方法

摘要

一种检测倍缩光罩的方法，包括：通过在相对于倍缩光罩表面的参考表面高度的倍缩光罩表面的第一高度以光源扫描倍缩光罩表面，获得在第一高度的倍缩光罩的表面的第一图像，且通过在相对于倍缩光罩表面的参考表面高度的倍缩光罩表面的第二高度以光源扫描倍缩光罩表面，获得在第二高度的倍缩光罩的表面的第二图像，第二高度与第一高度不同，第一高度与第二高度之间的距离小于倍缩光罩的厚度，结合第一图像以及第二图像以获得倍缩光罩的表面轮廓图像。

主权项

1.一种检测倍缩光罩的方法，包括：通过在相对于一倍缩光罩表面的一参考表面高度的该倍缩光罩表面的一第一高度以一光源扫描该倍缩光罩表面，获得在该第一高度的该倍缩光罩表面的一第一图像；通过在相对于该倍缩光罩表面的该参考表面高度的该倍缩光罩表面的一第二高度以该光源扫描该倍缩光罩表面，获得在该第二高度的该倍缩光罩表面的一第二图像，该第二高度与该第一高度不同，该第一高度与该第二高度之间的一距离小于该倍缩光罩的一厚度；以及结合该第一图像以及该第二图像，以获得该倍缩光罩的一表面轮廓图像。