[发明专利]多功能样品台在审
| 申请号： | 201811146589.0 | 申请日： | 2018-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN109239114A | 公开（公告）日： | 2019-01-18 |
| 发明（设计）人： | 刘兵海;华佑南;傅超;李晓旻 | 申请（专利权）人： | 胜科纳米(苏州)有限公司 |
| 主分类号： | G01N23/2204 | 分类号： | G01N23/2204 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 朱琳 |
| 地址： | 215123 江苏省苏州市工业园*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多功能样品台，包括：样品台本体，其中，所述样品台本体采用非磁性材料或者非导体材料制成，所述样品台本体为半圆柱形且所述半圆柱形样品台本体的切面上开设有至少一个窗口。本发明的多功能样品台可以应用于现有的FIB和TEM系统中，同时还可以实现样品的原子位FIB剥层，纳米探针电测试和TEM分析三步失效分析工艺的有效集成。即在整个失效分析的流程中，不需要样品转移，因此，本发明的多功能样品台可以提高整个失效分析流程的成功率和效率，避免和减少样品在失效分析工作中的破损，丢失和污染。 | ||
| 搜索关键词： | 失效分析 样品台 多功能样品台 半圆柱形 非磁性材料 非导体材料 纳米探针 台本发明 样品转移 有效集成 电测试 剥层 成功率 破损 污染 应用 分析 | ||
【主权项】：
1.一种多功能样品台，其特征在于，包括：样品台本体，其中，所述样品台本体采用非磁性材料或者非导体材料制成，所述样品台本体为半圆柱形且所述半圆柱形样品台本体的切面上开设有至少一个窗口。
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