[发明专利]多功能样品台

说明书

本发明公开了一种多功能样品台，包括：样品台本体，其中，所述样品台本体采用非磁性材料或者非导体材料制成，所述样品台本体为半圆柱形且所述半圆柱形样品台本体的切面上开设有至少一个窗口。本发明的多功能样品台可以应用于现有的FIB和TEM系统中，同时还可以实现样品的原子位FIB剥层，纳米探针电测试和TEM分析三步失效分析工艺的有效集成。即在整个失效分析的流程中，不需要样品转移，因此，本发明的多功能样品台可以提高整个失效分析流程的成功率和效率，避免和减少样品在失效分析工作中的破损，丢失和污染。

技术领域

本发明涉及集成电路制造领域，特别涉及一种多功能样品台。

背景技术

随着技术的发展，微样品的观测与操作被广泛的应用于航空航天、汽车工业、半导体、生物医学、MEMS、高分子、太阳能/燃料电池化工、石油、岩石、微电子、微型传感器、半导体材料、自动控制、航空航天、汽车工业及机械工具中。

传统的样品台只能对样品进行简单的平移观测以及操作，虽然通过调整成像装置的角度，可以在视野内实现对样品的旋转观测，但是并不能改变样品的空间位置。另一方面，当需要对样品进行失效分析时，需要将样品从样品台上转移到与工艺相适应的系统中去，影响整个失效分析流程的成功率和效率。

发明内容

本发明提供一种多功能样品台，以解决现有技术中存在的上述技术问题。

为解决上述技术问题，本发明提供一种多功能样品台，包括：样品台本体，其中，所述样品台本体采用非磁性材料或者非导体材料制成，所述样品台本体为半圆柱形且所述半圆柱形样品台本体的切面上开设有至少一个窗口。

作为优选，所述样品台本体的直径为2-5mm，厚度为80-120μm。

作为优选，所述样品台本体上设置有纳米级电路。

作为优选，还包括用于承载所述样品台本体的夹套。

作为优选，所述夹套包括：底座、位于所述底座上的支撑座以及设置在所述支撑座一侧的限位板，其中，所述支撑座上开设有与所述样品台本体的弧面相匹配的弧形槽，所述限位板的位置与所述弧形槽对应且所述限位板与所述支撑座之间通过螺栓连接。

作为优选，所述夹套采用非磁金属材料制成。

作为优选，还包括用于承载所述夹套的双向台。

作为优选，所述双向台包括：基座、开设在所述基座上且形状与夹套相匹配的容纳槽以及分设于所述容纳槽两侧的基座上的调节螺栓，并且，所述容纳槽的其中一个侧壁高度低于所述夹套中样品的高度。

作为优选，所述基座两端还设置有用于与外部固接连接的固定螺栓。

作为优选，所述双向台采用非磁金属材料制成。

与现有技术相比，本发明提供的多功能样品台可以直接放置于TEM系统的样品杆中，无需取下样品，便可以实现TEM分析。并且样品无需离开样品台，便可以实现样品的表面和截面的双向定点、精确的FIB剥层和原位纳米探针电性能测试。此外，样品台可以利用离子刻蚀进行纳米级电路布线，从而用于原位加电TEM失效分析。

由上可知，本发明的多功能样品台可以应用于现有的FIB和TEM系统中，同时还可以实现样品的原子位FIB剥层，纳米探针电测试和TEM分析三步失效分析工艺的有效集成。即在整个失效分析的流程中，不需要样品转移，因此，本发明的多功能样品台可以提高整个失效分析流程的成功率和效率，避免和减少样品在失效分析工作中的破损，丢失和污染。

附图说明

图1a～1b为本发明中多功能样品台的样品台本体的结构示意图；

图2a～2b为本发明中多功能样品台的夹套的结构示意图；