[发明专利]多带电粒子束描绘装置及多带电粒子束描绘方法有效
| 申请号： | 201811144885.7 | 申请日： | 2018-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN109585246B | 公开（公告）日： | 2021-09-21 |
| 发明（设计）人： | 悬樋亮一;饭塚修 | 申请（专利权）人： | 纽富来科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/304 | 分类号： | H01J37/304;H01J37/317 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 刘英华 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本实施方式的带电粒子束描绘装置，具备：台架位置检测器，用于检测供描绘对象的基板载置的能够移动的台架的位置；标记，设置于上述台架；检测器，通过使上述多束在上述标记上扫描，从而检测各束的束位置；束形状测定部，基于检测出的上述束位置和上述台架的位置，以规定的时间间隔测定照射到上述基板的多束的束形状；以及描绘数据处理部，基于测定出的上述束形状，计算用于校正上述束形状的上述各束的校正照射量。 | ||
| 搜索关键词： | 带电 粒子束 描绘 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种多带电粒子束描绘装置，具备：成形孔径阵列，形成有多个孔，带电粒子束在上述多个孔通过从而形成多束；消隐孔径阵列，配置有用于切换与上述多束的各束分别对应的束的开启关断的多个消隐器；台架，能够移动，供描绘对象的基板载置；台架位置检测器，检测上述台架的位置；标记，设置于上述台架；偏转器，将上述多束偏转；检测器，通过使上述多束在上述标记上扫描，从而检测各束的束位置；束形状测定部，基于检测出的上述束位置和上述台架的位置，以规定的时间间隔测定照射到上述基板的多束的束形状；以及描绘数据处理部，基于测定出的上述束形状，计算用于校正上述束形状的上述各束的校正照射量。
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