[发明专利]一种基于PVD涂层的铝碳化硅陶瓷基板的焊接方法有效
申请号: | 201811142992.6 | 申请日: | 2018-09-28 |
公开(公告)号: | CN109108417B | 公开(公告)日: | 2021-07-23 |
发明(设计)人: | 唐健江;王鹏冲 | 申请(专利权)人: | 西安航空学院 |
主分类号: | B23K1/20 | 分类号: | B23K1/20;B23K1/008;H05K3/34 |
代理公司: | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人: | 徐文权 |
地址: | 710077 *** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本发明提供的一种基于PVD涂层的铝碳化硅陶瓷基板的焊接方法,包括以下步骤:S1,将铝碳化硅陶瓷基板和DBC板依次利用丙酮除油剂、水和弱盐酸进行清洗、干燥;S2,将抛光后的铝碳化硅陶瓷基板和DBC板放置在镀膜室中进行镀铜,分别得到打底膜层;S3,将完成打底的铝碳化硅陶瓷基板和DBC板放置在镀膜室中,在打底膜层上进行镀镍硼,分别得到铝碳化硅陶瓷基板的镍硼可焊接层和DBC板的镍硼可焊接层;S4,将S3中的铝碳化硅陶瓷基板和DBC板进行清洗,之后将DBC板放置在铝碳化硅陶瓷基板上,且DBC板的镍硼可焊接层与铝碳化硅陶瓷基板上的镍硼可焊接层相接触;S5,将S4中叠放完后的基板放置在回流炉中进行回流焊,完成铝碳化硅陶瓷基板的焊接;本发明的焊接结合力较大,制备工艺简单,可广泛用于生产。 | ||
搜索关键词: | 一种 基于 pvd 涂层 碳化硅 陶瓷 焊接 方法 | ||
【主权项】:
1.一种基于PVD涂层的铝碳化硅陶瓷基板的焊接方法,其特征在于,包括以下步骤:S1,将铝碳化硅陶瓷基板和DBC板依次利用丙酮除油剂、水和弱盐酸进行清洗、干燥;S2,将S1清洗后得到的铝碳化硅陶瓷基板和DBC板分别放置在镀膜室中进行镀铜,分别得到铝碳化硅陶瓷基板的打底膜层和DBC板的打底膜层;S3,将完成打底的铝碳化硅陶瓷基板和DBC板放置在镀膜室中,在打底膜层上进行镀镍硼,分别得到铝碳化硅陶瓷基板的镍硼可焊接层和DBC板的镍硼可焊接层;S4,将S3中的铝碳化硅陶瓷基板和DBC板依次利用丙酮除油剂、水和弱盐酸进行清洗,之后将DBC板放置在铝碳化硅陶瓷基板上,且DBC板的镍硼可焊接层与铝碳化硅陶瓷基板上的镍硼可焊接层相接触;S5,将S4中叠放完后的基板放置在回流炉中进行回流焊,完成铝碳化硅陶瓷基板的焊接。
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