[发明专利]一种硬质硼化锆/氧化锆纳米多层膜及其制备方法与应用

摘要

本发明涉及一种ZrB₂/ZrO₂的纳米多层膜涂层。它是在硅（Si）基底上周期性分别沉积ZrB₂层和ZrO₂层制备ZrB₂/ZrO₂纳米多层膜；其中ZrB₂和ZrO₂的沉积周期为40nm，沉积的调制比依次为：_tZrB2：t_ZrO2=1:1；2‑5:1，共沉积20个周期，薄膜总层厚为800‑900纳米。随后在大气条件下进行500℃保温1小时的高温氧化实验，探究ZrO₂层对多层膜高温抗氧化性的影响。硬质ZrB₂/ZrO₂纳米多层膜具有较高硬度、高弹性模量和高温抗氧化的优良机械特性。ZrB₂/ZrO₂纳米多层膜在切削工具、微机械、微电子领域将有重要的应用前景。

主权项

1.一种硬质ZrB2/ZrO2纳米多层膜，其特征在于它是在硅（Si）基底上周期性分别沉积ZrB2层和ZrO2层制备ZrB2/ZrO2纳米多层膜；其中ZrB2和ZrO2的沉积周期为40nm，沉积的调制比依次为：tZrB2：tZrO2=1:1；2‑5:1，共沉积20个周期，薄膜总层厚为800‑900纳米。