[发明专利]一种阵列基板及显示面板在审

专利信息
申请号: 201811131525.3 申请日: 2018-09-27
公开(公告)号: CN109244085A 公开(公告)日: 2019-01-18
发明(设计)人: 黄北洲 申请(专利权)人: 惠科股份有限公司
主分类号: H01L27/12 分类号: H01L27/12;H01L27/32;G02F1/1368
代理公司: 深圳中一专利商标事务所 44237 代理人: 官建红
地址: 518000 广东省深圳市宝安区石岩街道水田村民*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明公开了一种阵列基板,包括基层、栅极、栅极绝缘层、半导体有源层、第一刻蚀阻挡层以及源漏层;栅极设于基层上;栅极绝缘层至少覆盖于栅极上;半导体有源层设于栅极绝缘层远离栅极的一侧;第一刻蚀阻挡层设于半导体有源层远离栅极绝缘层的一侧,半导体有源层的两端相对于第一刻蚀阻挡层外露;源漏层包括源极和漏极,源极和漏极分别覆盖于第一刻蚀阻挡层的两端,源漏层并至少覆盖半导体有源层相对第一刻蚀阻挡层外露的端部。半导体有源层的两端外露,源漏层覆盖于该外露部位之上,也即源漏层可以位于半导体有源层的边缘,此时源极和漏极的间距得以增大,使其与栅极的重叠面积减小,减小了源漏层与栅极之间产生的寄生电容。
搜索关键词: 半导体有源层 源漏 刻蚀阻挡层 栅极绝缘层 外露 漏极 源极 阵列基板 覆盖 寄生电容 面积减小 外露部位 显示面板 减小 基层
【主权项】:
1.一种阵列基板,其特征在于,包括:基层;栅极,所述栅极设于所述基层上;栅极绝缘层,至少覆盖于所述栅极上;半导体有源层,所述半导体有源层设于所述栅极绝缘层远离所述栅极的一侧;第一刻蚀阻挡层,所述第一刻蚀阻挡层设于所述半导体有源层远离所述栅极绝缘层的一侧,所述半导体有源层的两端相对于所述第一刻蚀阻挡层外露;以及源漏层,包括源极和漏极,分别覆盖于所述第一刻蚀阻挡层的两端,并至少覆盖所述半导体有源层相对第一刻蚀阻挡层外露的端部。
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