[发明专利]真空石墨烯转移装置及真空石墨烯转移方法有效
| 申请号： | 201811109110.6 | 申请日： | 2018-09-21 |
| 公开（公告）号： | CN108821273B | 公开（公告）日： | 2020-10-13 |
| 发明（设计）人： | 刘忠范;彭海琳;李杨立志;孙禄钊;张金灿;贾开诚;刘晓婷 | 申请（专利权）人： | 北京石墨烯研究院;北京大学 |
| 主分类号： | C01B32/194 | 分类号： | C01B32/194 |
| 代理公司： | 北京律智知识产权代理有限公司 11438 | 代理人： | 袁礼君;阚梓瑄 |
| 地址： | 100095 北京市海淀区苏家*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种真空石墨烯转移装置及真空石墨烯转移方法，真空石墨烯转移装置包括壳体、升降机构、支撑凸台以及加热装置。壳体内部具有真空腔体，升降机构设于壳体并包括可升降地设于真空腔体内的压板，石墨烯薄膜固定于压板底部。支撑凸台设于真空腔体内且位于压板下方，目标基底固定于支撑凸台上。加热装置，设于真空腔体内且连接于支撑凸台，加热装置用于通过支撑凸台加热目标基底。其中，真空石墨烯转移装置通过升降机构将石墨烯薄膜下压至目标基底上，并通过加热装置加热，将石墨烯薄膜转移至目标基底。从而实现提高石墨烯转移的完整度，同时降低了石墨烯水氧掺杂，具有重要的应用价值。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 石墨 转移 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种真空石墨烯转移装置，用以将石墨烯薄膜转移至目标基底，所述真空石墨烯转移装置包括：壳体，内部具有真空腔体；升降机构，设于所述壳体并包括可升降地设于所述真空腔体内的压板，所述石墨烯薄膜固定于所述压板底部；支撑凸台，设于所述真空腔体内且位于所述压板下方，所述目标基底固定于所述支撑凸台上；以及加热装置，设于所述真空腔体内且连接于所述支撑凸台，所述加热装置被配置为通过所述支撑凸台加热所述目标基底；其中，所述真空石墨烯转移装置被配置为，通过所述升降机构将石墨烯薄膜下压至所述目标基底上，并通过所述加热装置加热，将所述石墨烯薄膜转移至所述目标基底。
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