[发明专利]一种基于混合等离子体波导的温度传感器在审
| 申请号： | 201811101852.4 | 申请日： | 2018-09-20 |
| 公开（公告）号： | CN109115359A | 公开（公告）日： | 2019-01-01 |
| 发明（设计）人： | 朱君;王各;娄健;徐政杰 | 申请（专利权）人： | 广西师范大学 |
| 主分类号： | G01K11/00 | 分类号： | G01K11/00 |
| 代理公司： | 桂林市华杰专利商标事务所有限责任公司 45112 | 代理人： | 刘梅芳 |
| 地址： | 541004 广西壮*** | 国省代码： | 广西;45 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种基于混合等离子体波导的温度传感器，其特征是，包括自下而上顺序叠接的基底层、低折射率缓冲层、硫化物层和金属层，所述金属层的上表面中心部位由上自下设有中空的圆柱状谐振腔，以谐振腔的中轴线为基准对称设有第一凹陷直波导和第二凹陷直波导，所述谐振腔的内径大小可调。这种表面等离子传感器不仅体积小、响应快、制备过程简单，同时还能提高灵敏度和Q值，实现生物、医学检测领域的纳米级传感。 | ||
| 搜索关键词： | 谐振腔 混合等离子体 温度传感器 金属层 直波导 凹陷 波导 表面等离子 上表面中心 大小可调 低折射率 硫化物层 医学检测 制备过程 缓冲层 基底层 灵敏度 纳米级 体积小 圆柱状 中空的 中轴线 传感器 传感 叠接 对称 响应 | ||
【主权项】：
1.一种基于混合等离子体波导的温度传感器，其特征是，包括自下而上顺序叠接的基底层、低折射率缓冲层、硫化物层和金属层，所述金属层的上表面中心部位由上自下设有中空的圆柱状谐振腔，以谐振腔的中轴线为基准对称设有第一凹陷直波导和第二凹陷直波导，所述谐振腔的内径大小可调。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于广西师范大学，未经广西师范大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201811101852.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
