[发明专利]在超纯蒸汽生产中除去痕量杂质的方法在审

专利信息
申请号: 201811061103.3 申请日: 2018-09-12
公开(公告)号: CN110550678A 公开(公告)日: 2019-12-10
发明(设计)人: J·L·斯通 申请(专利权)人: 大学研究玻璃器皿公司
主分类号: C02F1/04 分类号: C02F1/04;C02F103/04
代理公司: 11280 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 代理人: 胡强
地址: 美国北卡*** 国省代码: 美国;US
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摘要: 一种从具有痕量杂质的纯化水中产生没有痕量杂质的超纯蒸汽的方法,包括:将具有痕量杂质的纯化水导入蒸汽发生器的腔室的进水套管中,腔室包括由熔融石英制成的腔室外壁和腔室内壁以及将腔室分隔成下腔室区和上腔室区的加热多孔熔融石英件。将多孔熔融石英件加热至蒸汽形成温度并且将从下腔室导引通过熔融石英件的含杂质的纯化水转化成具有减少的痕量杂质的蒸汽。从上腔室将蒸汽递送至蒸汽饱和壳体。
搜索关键词: 痕量杂质 熔融石英件 腔室 纯化水 上腔室 下腔室 加热 蒸汽 蒸汽发生器 进水套管 腔室内壁 腔室外壁 熔融石英 蒸汽递送 蒸汽形成 纯蒸汽 导引 壳体 水中 分隔 饱和 转化
【主权项】:
1.一种产生已除去痕量杂质的蒸汽的方法,包括:/n将具有痕量杂质的纯化水导入蒸汽发生器的腔室的进水套管中,所述腔室包括由熔融石英制成的腔室内壁和腔室外壁和多孔熔融石英件,所述多孔熔融石英件将所述腔室分隔成下腔室区和上腔室区;/n加热所述多孔熔融石英件至蒸汽形成温度;/n导引所述纯化水通过已加热的所述多孔熔融石英件,从而由所述纯化水产生蒸汽,其中产生的蒸汽已经除去了痕量杂质;以及/n将产生的已除去痕量杂质的蒸汽导引至蒸汽饱和壳体。/n
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