[发明专利]在超纯蒸汽生产中除去痕量杂质的方法

权利要求书

1.一种产生已除去痕量杂质的蒸汽的方法，包括：

将具有痕量杂质的纯化水导入蒸汽发生器的腔室的进水套管中，所述腔室包括由熔融石英制成的腔室内壁和腔室外壁和多孔熔融石英件，所述多孔熔融石英件将所述腔室分隔成下腔室区和上腔室区；

加热所述多孔熔融石英件至蒸汽形成温度；

导引所述纯化水通过已加热的所述多孔熔融石英件，从而由所述纯化水产生蒸汽，其中产生的蒸汽已经除去了痕量杂质；以及

将产生的已除去痕量杂质的蒸汽导引至蒸汽饱和壳体。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征是，除去的痕量杂质是钠和钾。

3.根据权利要求1所述的装置，其特征是，所述多孔熔融石英件是烧结玻璃。

4.根据权利要求1所述的装置，其特征是，将水导入进水套管包括持续地将水供给至水注射器。

5.根据权利要求1所述的装置，其特征是，所述腔室呈圆柱形，所述多孔熔融石英材料呈盘形。

6.一种从用于超纯蒸汽制备的纯化水中除去杂质的方法，包括：

提供蒸汽发生器，其包括：

腔室，该腔室带有纯化水输入套管、蒸汽排出套管和位于两者间的增压室、由熔融石英制成的腔室内壁和腔室外壁以及将所述增压室分隔成下腔室区和上腔室区的加热多孔熔融石英件；

围绕该增压室的熔融石英的腔室外壁的一部分的且向该多孔熔融石英件传热的电加热线圈；

以绝热方式包围所述电加热线圈和熔融石英的腔室外壁的陶瓷护套；

通过腔室进水套管将纯化水供入已加热的多孔熔融石英件中的喷嘴；

饱和壳体；

连接至该腔室蒸汽排出套管以将产生的蒸汽收入该饱和壳体中的孔口；和

蒸汽递送口；

将具有痕量杂质的纯化水注入蒸汽发生器腔室的下腔室区；

加热所述多孔熔融石英件至蒸汽形成温度；

将注入的纯化水导入下腔室区的已加热的多孔熔融石英件中并到达上腔室区，由此通过该多孔熔融石英件将纯化水转化成蒸汽，所产生的蒸汽已除去了痕量杂质；以及

将蒸汽从第一腔室的上腔室区导入蒸汽饱和壳体。

7.根据权利要求6所述的方法，其特征是，已除去的痕量杂质是钠和钾。

8.根据权利要求6所述的方法，其特征是，所述腔室还包括熔融石英管，该熔融石英管包围所述线圈并将所述线圈与所述陶瓷护套隔开，从而减少从所述线圈至所述护套的传热。