[发明专利]一种石墨烯/金属纳米颗粒-PMMA/石墨烯/氮化镓发光二极管及其制备方法有效
| 申请号： | 201811051461.6 | 申请日： | 2018-09-10 |
| 公开（公告）号： | CN109192822B | 公开（公告）日： | 2019-12-03 |
| 发明（设计）人： | 林时胜;郝珍珍 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00 |
| 代理公司： | 33200 杭州求是专利事务所有限公司 | 代理人： | 万尾甜;韩介梅<国际申请>=<国际公布> |
| 地址： | 310058 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种石墨烯/金属纳米颗粒‑PMMA/石墨烯/氮化镓发光二极管及其制备方法，该发光二极管的结构自下而上依次有蓝宝石衬底层或硅衬底层、氮化镓层、底石墨烯层、金属纳米颗粒‑PMMA层、顶石墨烯层，氮化镓层上设有第一电极，底石墨烯层上设有第二电极，顶石墨烯层上设有第三电极。本发明的石墨烯/金属纳米颗粒‑PMMA/石墨烯/氮化镓发光二极管利用顶石墨烯层产生的栅调控效应对发光二极管的发光强度进行调控，同时结合金属纳米颗粒表面等离子体增强效应提高发光强度，此外结合石墨烯材料的高透光性、高导电性和氮化镓优异的发光特性，具有亮度高，可栅调控的特点，器件制备工艺简单且成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 石墨烯 金属纳米颗粒 石墨烯层 氮化镓发光二极管 发光二极管 氮化镓层 制备 调控 表面等离子体 蓝宝石衬底层 器件制备工艺 石墨烯材料 第二电极 第三电极 第一电极 发光特性 高导电性 高透光性 硅衬底层 氮化镓 | ||
【主权项】：
1.石墨烯/金属纳米颗粒-PMMA/石墨烯/氮化镓发光二极管，其特征在于，自下而上依次有衬底层(1)、氮化镓层(2)、底石墨烯层(3)、金属纳米颗粒-PMMA层(4)、顶石墨烯层(5)，此外，在氮化镓层(2)上设有第一电极(6)，在底石墨烯层(3)上设有第二电极(7)，在顶石墨烯层(5)上设有第三电极(8)；所述的金属纳米颗粒-PMMA层中PMMA的厚度大于金属纳米颗粒的直径，将金属纳米颗粒完全覆盖，并使金属纳米颗粒与顶石墨烯层(5)隔绝；/n所述的金属纳米颗粒为银纳米颗粒，直径为5～200nm。/n
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