[发明专利]一种自准直系统在审
| 申请号： | 201811036660.X | 申请日： | 2018-09-06 |
| 公开（公告）号： | CN109387161A | 公开（公告）日： | 2019-02-26 |
| 发明（设计）人： | 马臻;李奇炘;丁蛟腾;许亮;易红伟;吴璀罡 | 申请（专利权）人： | 中国科学院西安光学精密机械研究所;中国科学院大学 |
| 主分类号： | G01B11/26 | 分类号： | G01B11/26 |
| 代理公司： | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人： | 肖建华 |
| 地址： | 710119 陕西省西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及光学精密测量技术领域，针对现有自准直仪分辨率与测量精度低的不足，提供一种自准直系统。自准直系统包括面阵CCD探测器，以及沿水平光轴从左至右依次设置的激光光源、二维指示光栅、分束镜、物镜和反射镜；激光光源发射的光束照亮指示光栅，光束经分束镜分束，再经物镜准直后照射到反射镜上；经反射镜折返回并透过物镜的光束再经分束镜反射至面阵CCD探测器，在面阵CCD探测器上产生纵向莫尔条纹并成像。 | ||
| 搜索关键词： | 面阵CCD探测器 自准直系统 反射镜 分束镜 物镜 激光光源 指示光栅 光学精密测量 莫尔条纹 水平光轴 依次设置 自准直仪 分辨率 二维 分束 反射 成像 照射 照亮 测量 发射 返回 | ||
【主权项】：
1.一种自准直系统，其特征在于：包括面阵CCD探测器(6)，以及沿水平光轴从左至右依次设置的激光光源(1)、二维指示光栅(2)、分束镜(3)、物镜(4)和反射镜(5)；激光光源(1)发射的光束照亮二维指示光栅(2)，光束经分束镜(3)分束，再经物镜(4)准直后照射到反射镜(5)上；经反射镜(5)折返回并透过物镜(4)的光束再经分束镜(3)反射至面阵CCD探测器(6)，在面阵CCD探测器(6)上产生纵向莫尔条纹并成像。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院西安光学精密机械研究所;中国科学院大学，未经中国科学院西安光学精密机械研究所;中国科学院大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201811036660.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
