[发明专利]一种自准直系统在审
| 申请号： | 201811036660.X | 申请日： | 2018-09-06 |
| 公开（公告）号： | CN109387161A | 公开（公告）日： | 2019-02-26 |
| 发明（设计）人： | 马臻;李奇炘;丁蛟腾;许亮;易红伟;吴璀罡 | 申请（专利权）人： | 中国科学院西安光学精密机械研究所;中国科学院大学 |
| 主分类号： | G01B11/26 | 分类号： | G01B11/26 |
| 代理公司： | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人： | 肖建华 |
| 地址： | 710119 陕西省西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 面阵CCD探测器 自准直系统 反射镜 分束镜 物镜 激光光源 指示光栅 光学精密测量 莫尔条纹 水平光轴 依次设置 自准直仪 分辨率 二维 分束 反射 成像 照射 照亮 测量 发射 返回 | ||
【权利要求书】：
1.一种自准直系统，其特征在于：包括面阵CCD探测器(6)，以及沿水平光轴从左至右依次设置的激光光源(1)、二维指示光栅(2)、分束镜(3)、物镜(4)和反射镜(5)；
激光光源(1)发射的光束照亮二维指示光栅(2)，光束经分束镜(3)分束，再经物镜(4)准直后照射到反射镜(5)上；经反射镜(5)折返回并透过物镜(4)的光束再经分束镜(3)反射至面阵CCD探测器(6)，在面阵CCD探测器(6)上产生纵向莫尔条纹并成像。
2.根据权利要求1所述的一种自准直系统，其特征在于：所述激光光源(1)为半导体激光器。
3.根据权利要求1或2所述的一种自准直系统，其特征在于：所述分束镜(3)与水平光轴成45°夹角。
4.根据权利要求3所述的一种自准直系统，其特征在于：所述物镜(4)为长焦距透镜。
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