[发明专利]基于双股叉型谐振梁的谐振式加速度计有效
| 申请号： | 201811034602.3 | 申请日： | 2018-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN109239399B | 公开（公告）日： | 2021-10-26 |
| 发明（设计）人： | 韩建强;陶功皓;朱安赐 | 申请（专利权）人： | 中国计量大学 |
| 主分类号： | G01P15/097 | 分类号： | G01P15/097 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 310018 浙江省杭州市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于双股叉型谐振梁的谐振式加速度计的结构、制作方法及工作原理，属于微电子机械系统领域。其结构特征在于谐振式加速度计由双股叉型谐振梁(1)、激励电阻(2)、压敏电阻(3)、蟹腿型支撑梁(4)、质量块(5)、框架(6)、金属内引线(7)组成，质量块(5)的重心位于蟹腿型支撑梁(4)的中性面内。本传感器在检测原理方面的特征在于在平行于芯片表面的加速度作用下，双股叉型谐振梁(1)的轴向应力变化，从而改变其谐振频率，通过检测谐振频率的变化就可以得到加速度的大小和方向。相对于双端固支直梁谐振器，基于双股叉型谐振梁的谐振式加速度计具有更大的检测灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 双股叉型 谐振 加速度计 | ||
【主权项】：
1.一种基于双股叉型谐振梁的谐振式加速度计，其特征在于：所述的基于双股叉型谐振梁的谐振式加速度计由双股叉型谐振梁(1)、激励电阻(2)、压敏电阻(3)、蟹腿型支撑梁(4)、质量块(5)、框架(6)、金属内引线(7)组成；双股叉型谐振梁(1)和蟹腿型支撑梁(4)位于质量块(5)和框架(6)之间的“口”字型腐蚀槽(8)内，一端固支在质量块(5)的侧面，另一端固支在框架(6)内壁；双股叉型谐振梁(1)位于传感器芯片上表面，在其中部制作激励电阻(2)，在靠近衬底的2个叉齿上制作压敏电阻(3)；质量块(5)的重心位于蟹腿型支撑梁(4)的中性面内，用于检测平行于芯片表面的加速度信号。
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