[发明专利]基于双股叉型谐振梁的谐振式加速度计

权利要求书

1.一种基于双股叉型谐振梁的谐振式加速度计，其特征在于：所述的基于双股叉型谐振梁的谐振式加速度计由双股叉型谐振梁(1)、激励电阻(2)、压敏电阻(3)、蟹腿型支撑梁(4)、质量块(5)、框架(6)、金属内引线(7)组成；双股叉型谐振梁(1)和蟹腿型支撑梁(4)位于质量块(5)和框架(6)之间的“口”字型腐蚀槽(8)内，一端固支在质量块(5)的侧面，另一端固支在框架(6)内壁；双股叉型谐振梁(1)位于传感器芯片上表面，在其中部制作激励电阻(2)，在靠近衬底的2个叉齿上制作压敏电阻(3)；质量块(5)的重心位于蟹腿型支撑梁(4)的中性面内，用于检测平行于芯片表面的加速度信号。

2.根据权利要求1所述的基于双股叉型谐振梁的谐振式加速度计，其特征在于：在激励电阻(2)上通过交流电，产生交变的温度场和弯矩，使双股叉型谐振梁(1)发生振动，叉齿上的压敏电阻(3)检测双股叉型谐振梁(1)的振动信号；在平行于芯片表面的加速度作用下，双股叉型谐振梁(1)的轴向应力变化，从而改变其谐振频率，通过检测谐振频率的变化就可以得到加速度的大小和方向。

3.根据权利要求1所述的基于双股叉型谐振梁的谐振式加速度计结构，其特征在于：在面内加速度作用下双股叉型谐振梁(1)的叉齿发生结构变形，相对于双端固支直梁谐振器具有更大的检测灵敏度。