[发明专利]用于数字X射线检测器的阵列基板及其制造方法

摘要

一种用于数字X射线检测器的阵列基板可以包括：基底基板；被设置在基底基板上方的薄膜晶体管；正‑本征‑负(positive‑intrinsic‑negative，PIN)二极管，其包括电连接至薄膜晶体管的下电极、被设置在下电极上方的第一PIN层和被设置在第一PIN层上方的上电极；与PIN二极管间隔开的第二PIN层，第二PIN层被设置在薄膜晶体管上方；以及电连接至上电极的偏置电极。

主权项

1.一种用于数字X射线检测器的阵列基板，所述阵列基板包括：基底基板；被设置在所述基底基板上方的薄膜晶体管；正‑本征‑负二极管，其包括电连接至所述薄膜晶体管的下电极、被设置在所述下电极上方的第一正‑本征‑负层以及被设置在所述第一正‑本征‑负层上方的上电极；与所述正‑本征‑负二极管间隔开的第二正‑本征‑负层，所述第二正‑本征‑负层被设置在所述薄膜晶体管上方；以及电连接至所述上电极的偏置电极。