[发明专利]多功能真空蒸镀超薄膜装置在审
| 申请号： | 201811032522.4 | 申请日： | 2018-09-05 |
| 公开（公告）号： | CN109207933A | 公开（公告）日： | 2019-01-15 |
| 发明（设计）人： | 陈林;张鑫;刘玥峰;郭艳玲;陈熙萌 | 申请（专利权）人： | 兰州大学 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26;C23C14/56 |
| 代理公司： | 北京中恒高博知识产权代理有限公司 11249 | 代理人： | 宋敏 |
| 地址： | 730030 甘肃*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多功能真空蒸镀超薄膜装置，包括高温蒸镀模块或低温蒸镀模块、可移动水冷模块，所述高温蒸镀模块或低温蒸镀模块在真空环境下使用各自的方法将镀膜材料蒸发到被蒸镀样品表面形成薄膜，所述可移动水冷模块用于支持高温蒸镀模块和低温蒸镀模块在真空内部的移动、测试以及冷却。本发明通过对高温和低温蒸镀模块尺寸设计，实现了在同一平台上集成。蒸镀模块均设有热辐射屏蔽层，可有效减少热量损耗以及外部扰动带来的不稳定因素。进一步地可以对表面进行可控的极少量膜材蒸镀，实现埃量级超薄膜的蒸镀。高温蒸镀模块中加热丝与底座之间设有屏蔽层，以减少蒸镀分子对底座的影响。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸镀 高温蒸 超薄膜 多功能真空 水冷模块 可移动 底座 热辐射屏蔽层 尺寸设计 镀膜材料 热量损耗 同一平台 外部扰动 稳定因素 样品表面 有效减少 真空环境 加热丝 可控的 屏蔽层 膜材 薄膜 冷却 蒸发 测试 移动 | ||
【主权项】：
1.一种多功能真空蒸镀超薄膜装置，其特征在于：包括高温蒸镀模块或低温蒸镀模块、可移动水冷模块，所述高温蒸镀模块或低温蒸镀模块在真空环境下使用各自的方法将镀膜材料蒸发到被蒸镀样品表面形成超薄膜，所述可移动水冷模块用于支持高温蒸镀模块和低温蒸镀模块在真空内部的移动、测试以及冷却；所述可移动水冷模块包括：真空封接可移动机构，用于支撑所述高温蒸镀模块和低温蒸镀模块移动到合适位置；可移动挡板机构，可控制蒸镀是否进行；穿通引线机构，用于电流引线以及热电偶引线；水冷机构，用于连接所述高温蒸镀模块或低温蒸镀模块并冷却除去蒸发室以外的结构。
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