[发明专利]多功能真空蒸镀超薄膜装置

权利要求书

1.一种多功能真空蒸镀超薄膜装置，其特征在于：包括高温蒸镀模块或低温蒸镀模块、可移动水冷模块，所述高温蒸镀模块或低温蒸镀模块在真空环境下使用各自的方法将镀膜材料蒸发到被蒸镀样品表面形成超薄膜，所述可移动水冷模块用于支持高温蒸镀模块和低温蒸镀模块在真空内部的移动、测试以及冷却；

所述可移动水冷模块包括：

真空封接可移动机构，用于支撑所述高温蒸镀模块和低温蒸镀模块移动到合适位置；

可移动挡板机构，可控制蒸镀是否进行；

穿通引线机构，用于电流引线以及热电偶引线；

水冷机构，用于连接所述高温蒸镀模块或低温蒸镀模块并冷却除去蒸发室以外的结构。

2.根据权利要求1所述的多功能真空蒸镀超薄膜装置，其特征在于，所述高温蒸镀模块包括外腔室、位于所述外腔室内部的内腔室、位于所述内腔室内部的电阻加热丝直接加热的蒸发源、位于所述加热丝底座上方的加热丝屏蔽层、位于所述加热丝底座中的热电偶、位于所述外腔室上方的高温蒸镀模块上盖，所述外腔室包括外腔室套筒、通过套环与所述外腔室套筒套接的耐高温外屏蔽层；所述内腔室包括内腔室套筒、通过套环与所述内腔室套筒套接的耐高温内屏蔽层；所述电阻加热丝直接加热蒸发源，包括加热丝、缠绕于加热丝上的蒸镀材料以及加热丝底座；所述加热丝屏蔽层仅与加热丝底座上两个加热丝接线柱之一连接，另一接线柱不接触地穿过加热丝屏蔽层；所述热电偶通过双孔陶瓷绝缘并穿过加热丝底座以及加热丝屏蔽层；所述高温蒸镀模块上盖包括上屏蔽层以及固定片，所述上屏蔽层以及固定片均具有同心开口供蒸镀材料蒸汽通过。

3.根据权利要求1所述的多功能真空蒸镀超薄膜装置，其特征在于，所述低温蒸镀模块包括蒸镀腔室、位于所述蒸镀腔室内部的电阻丝加热坩埚蒸发源、位于所述蒸镀腔室上端的低温蒸镀模块上盖，所述蒸镀腔室包括蒸镀腔室套筒、通过套环与所述蒸镀腔室套筒连接的耐高温屏蔽层；所述电阻丝加热坩埚蒸发源包括位于所述蒸镀腔室内部的陶瓷绝缘座、套接于所述陶瓷绝缘座上部的坩埚固定座、位于所述坩埚固定座上方的缠绕加热丝的坩埚、位于所述坩埚上端的坩埚盖；所述低温蒸镀模块上盖包括上屏蔽层以及固定片，所述上屏蔽层以及固定片均具有同心开口供蒸镀材料蒸汽通过，并通过陶瓷隔珠与坩埚盖相连。

4.根据权利要求1所述的多功能真空蒸镀超薄膜装置，其特征在于，所述可移动水冷模块包括水冷平台、位于所述水冷平台后端的支撑杆、位于所述水冷平台后端的引线口以及引水管道、位于所述高温蒸镀模块上盖以及低温蒸镀模块上盖上部的可移动挡板、位于所述引水管道末端的穿通引线、位于所述引水管道末端的真空封接可移动机构，所述水冷平台可以兼容所述高温蒸镀模块和低温蒸镀模块，分别通过外腔室以及蒸镀腔室与水冷平台连接。