[发明专利]格栅编码器及其装置

摘要

一种格栅编码器适用于安装在线性轴上，包含由导磁材料构成的基体及格栅编码单元。格栅编码单元包括设置于基体上的格栅编码组，及与格栅编码组相邻设置而位于相同表面的位置格栅编码组，格栅编码组具有多个沿基体的轴线延伸并沿轴线的径向间隔排列的凹部，位置格栅编码组具有多个沿轴线的径向延伸并沿轴线间隔排列的凹部。本发明还提供一种适用于安装在旋转轴上的格栅编码装置，包含具有环形基体的格栅编码器及感测单元，感测单元与格栅编码器间隔设置。借此，能量测线性轴的直线度误差、平坦度、横向及垂直振动量，还可量测旋转轴的轴向与径向偏摆量，通过位置格栅编码组来量测线性轴的位移与速度及旋转轴的角度位置与角速度。