[发明专利]光学测试方法及光学测试系统有效
| 申请号： | 201811003344.2 | 申请日： | 2018-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN109470159B | 公开（公告）日： | 2021-03-09 |
| 发明（设计）人： | 李承宗;罗益全;林训鹏;洪志明 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/14 | 分类号： | G01B11/14 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 黄艳 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本公开提供一种光学测试方法以及一种光学测试系统，该光学测试方法包括发射光通过设置在一固持器上的一被测光学元件的两个基板之间的一间隙，以产生多个光束。所述光学测试方法还包括驱动固持器及其上的被测光学元件移动到N个位置。所述光学测试方法还包括接收来自在所述N个位置的被测光学元件的所述光束中的一者，以产生N个第一强度信号。此外，所述光学测试方法包括根据所述N个第一强度信号和参考数据来确定被测光学元件的间隙的大小。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 测试 方法 系统 | ||
【主权项】：
1.一种光学测试方法，包括：发射光通过设置在一固持器上的一被测光学元件的两个基板之间的一间隙，以产生多个光束；驱动该固持器及其上的该被测光学元件移动到N个位置，其中，N是大于2的自然数；接收来自在该N个位置的该被测光学元件的所述光束中的一者，以产生N个第一强度信号；以及根据该N个第一强度信号和参考数据确定该被测光学元件的该间隙的大小。
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