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- [发明专利]波纹管泵-CN202111389411.0在审
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朴海申;李承宗;尹汝俊;朴民镜
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株式会社一诺迪思
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2021-11-22
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2023-02-28
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F04B43/107
- 本发明涉及一种波纹管泵。本发明的一实施例的波纹管泵可包括：主体，在内部形成有抽吸并供应药液的泵室；波纹管，收缩或者膨胀地设置在所述泵室，并且压缩并供应流进所述泵室的药液；移动轴，贯通所述主体的中心并且可移动地设置，两侧边缘与分别配置在所述波纹管的压缩板连接；盖，分别结合于所述主体的两侧，并且堵住所述泵室的开放的部分以进行封闭；活塞壳，前端部结合于所述压缩板，后端部可移动地结合于所述盖的内侧；及活塞，可移动地结合于所述活塞壳，若注入空气，则推动所述活塞壳，以使所述波纹管收缩。
- 波纹管
- [发明专利]波纹管泵-CN202111387508.8在审
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朴海申;李承宗;尹汝俊;朴民镜
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株式会社一诺迪思
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2021-11-22
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2023-02-17
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F04B43/107
- 本发明涉及一种波纹管泵。本发明的一实施例的波纹管泵，使用于半导体工艺，包括：主体，在内部形成有抽吸并供应药液的一对泵室，并且具有压缩并供应流进所述泵室的药液的一对波纹管；盖，分别以螺纹结合组装于所述主体两侧，以堵住所述泵室的开放的部分以进行封闭；及控制主体，结合于组装所述盖的所述主体的一侧面，并且控制向所述主体内部供应压缩空气；在所述盖压入并且结合组装于所述主体的压入式肋条，将向外侧凸出压入的所述前端圆周面的面加工部面加工成与所述主体的一侧面相对应，所述控制主体的至少一部分可紧贴接触于所述面加工部。
- 波纹管
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