[发明专利]一种管间资源共用的管式PECVD设备

摘要

本发明公开了一种管间资源共用的管式PECVD设备，包括炉体柜、真空与压力系统、气路系统、射频系统、第一转换组件、第二转换组件和第三转换组件，所述炉体柜内安装有多根炉管，所述真空与压力系统通过第一转换组件与多根炉管相连，用于实现与不同炉管的连接切换；所述气路系统通过第二转换组件与多根炉管相连，用于实现与不同炉管的连接切换；所述射频系统通过第三转换组件与多根炉管相连，用于实现与不同炉管的连接切换。本发明的管间资源共用的管式PECVD设备具有结构简单、部件利用率高、成本低且占用面积小等优点。

主权项

1.一种管间资源共用的管式PECVD设备，其特征在于，包括炉体柜（3）、真空与压力系统、气路系统、射频系统、第一转换组件（7）、第二转换组件（8）和第三转换组件，所述炉体柜（3）内安装有多根炉管（6），所述真空与压力系统通过第一转换组件（7）与多根炉管（6）相连，用于实现与不同炉管（6）的连接切换；所述气路系统通过第二转换组件（8）与多根炉管（6）相连，用于实现与不同炉管（6）的连接切换；所述射频系统通过第三转换组件与多根炉管（6）相连，用于实现与不同炉管（6）的连接切换。