[发明专利]极紫外线辐射源模块在审
| 申请号： | 201810966772.9 | 申请日： | 2018-08-23 |
| 公开（公告）号： | CN109839804A | 公开（公告）日： | 2019-06-04 |
| 发明（设计）人： | 许峻嘉;谢劼;简上杰;陈立锐;郑博中;傅中其;刘柏村 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 黄艳;李琛 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种极紫外线辐射源模块，包含一目标液滴产生器，配置于产生复数个目标液滴；一第一激光光源，配置于产生复数个第一激光脉冲，第一激光脉冲加热目标液滴以产生复数个目标云雾团；一第二激光光源，配置于产生复数个第二激光脉冲，第二激光脉冲加热目标云雾团以产生一等离子体发射极紫外线辐射；一第三和激光光源及一第四激光光源，分别配置于产生一第一激光光束和一第二激光光束，第一激光光束和一第二激光光束被引导至目标云雾团的一行进路径上，且第一激光光束和一第二激光光束基本上平行；以及一监视器，配置于接收由目标云雾团反射的第一激光光束和一第二激光光束。 | ||
| 搜索关键词： | 激光光束 激光光源 激光脉冲 复数 配置 辐射源模块 极紫外线 加热目标 目标液 等离子体发射极 紫外线辐射 监视器 滴产生器 行进路径 液滴 反射 平行 | ||
【主权项】：
1.一种极紫外线辐射源模块，包括：一目标液滴产生器，配置于产生复数个目标液滴；一第一激光光源，配置于产生复数个第一激光脉冲，该些第一激光脉冲加热该些目标液滴以产生复数个目标云雾团；一第二激光光源，配置于产生复数个第二激光脉冲，该些第二激光脉冲加热该些目标云雾团以产生一等离子体发射极紫外线辐射；一第三激光光源及一第四激光光源，分别配置于产生一第一激光光束和一第二激光光束，该第一激光光束和该第二激光光束被引导至该些目标云雾团的一行进路径上，其中该第一激光光束和该第二激光光束基本上平行；以及一监视器，配置于接收由该些目标云雾团反射的该第一激光光束一第二激光光束。
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