[发明专利]OCT探测装置及微雕设备有效
| 申请号： | 201810964129.2 | 申请日： | 2018-08-22 |
| 公开（公告）号： | CN109341518B | 公开（公告）日： | 2020-10-30 |
| 发明（设计）人： | 代祥松;何卫红;杨蒙萌 | 申请（专利权）人： | 深圳市斯尔顿科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02;G01N21/45;G02B26/10 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 郝传鑫;熊永强 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市龙岗区布吉街*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种OCT探测装置及微雕设备，所述OCT探测装置包括OCT组件、扫描探头和调节部；所述扫描探头包括振镜和场镜；所述扫描探头与所述OCT组件连接；所述振镜和所述场镜位于第一光轴，所述振镜与所述场镜的距离小于所述场镜的焦距；所述场镜位于所述振镜和所述样品表面之间；所述调节部用于调节通过所述扫描探头扫描样品的样品光的光程与所述OCT组件提供的参考光的光程的光程差。所述微雕装置包括激光光源、透镜及所述OCT探测装置，所述透镜设置在所述聚焦透镜和所述振镜之间并位于同一光轴，所述激光光源发出激光，通过所述透镜、振镜和场镜射到所述样品上，对所述样品进行雕刻。 | ||
| 搜索关键词： | oct 探测 装置 微雕 设备 | ||
【主权项】：
1.一种OCT探测装置，用于对样品进行扫描探测，其特征在于，所述OCT探测装置包括OCT组件、扫描探头和调节部；所述扫描探头包括振镜和场镜；所述扫描探头与所述OCT组件连接；所述振镜和所述场镜位于第一光轴，所述振镜与所述场镜的距离小于所述场镜的焦距；所述场镜位于所述振镜和所述样品表面之间；所述调节部用于调节通过所述扫描探头扫描样品的样品光的光程与所述OCT组件提供的参考光的光程的光程差。
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