[发明专利]OCT探测装置及微雕设备有效
申请号: | 201810964129.2 | 申请日: | 2018-08-22 |
公开(公告)号: | CN109341518B | 公开(公告)日: | 2020-10-30 |
发明(设计)人: | 代祥松;何卫红;杨蒙萌 | 申请(专利权)人: | 深圳市斯尔顿科技有限公司 |
主分类号: | G01B9/02 | 分类号: | G01B9/02;G01N21/45;G02B26/10 |
代理公司: | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人: | 郝传鑫;熊永强 |
地址: | 518000 广东省深圳市龙岗区布吉街*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | oct 探测 装置 微雕 设备 | ||
本发明提供一种OCT探测装置及微雕设备,所述OCT探测装置包括OCT组件、扫描探头和调节部;所述扫描探头包括振镜和场镜;所述扫描探头与所述OCT组件连接;所述振镜和所述场镜位于第一光轴,所述振镜与所述场镜的距离小于所述场镜的焦距;所述场镜位于所述振镜和所述样品表面之间;所述调节部用于调节通过所述扫描探头扫描样品的样品光的光程与所述OCT组件提供的参考光的光程的光程差。所述微雕装置包括激光光源、透镜及所述OCT探测装置,所述透镜设置在所述聚焦透镜和所述振镜之间并位于同一光轴,所述激光光源发出激光,通过所述透镜、振镜和场镜射到所述样品上,对所述样品进行雕刻。
技术领域
本发明涉及光学扫描成像技术领域,特别涉及光学相干断层扫描成像中的OCT探测装置及微雕设备。
背景技术
光学相干断层扫描成像技术(Optical Coherence Tomography,简称OCT)是一种基于光学相干特性的成像技术,它结合了光外差及扫描层析成像技术的优点,具有高灵敏度、高分辨率,无损伤以及可在体检测等优越性,它能对高散射介质如生物组织实施非侵入式的快速成像。
OCT技术的核心是探测装置。现有技术中,由于探测装置中用于扫描的振镜和场镜的架构限制,从场镜中出射的测量光束相互平行,扫描范围有限。
发明内容
为了克服现有OCT探测装置扫描范围有限的问题,本发明提供一种OCT探测装置及微雕设备,该装置不仅能扩大扫描范围,而且能在扫描样品的同时对样品进行微雕。
本发明提供的一种OCT探测装置,用于对样品进行扫描探测,所述OCT探测装置包括OCT组件、扫描探头和调节部;所述扫描探头包括振镜和场镜;所述扫描探头与所述OCT组件连接;所述振镜和所述场镜位于第一光轴,所述振镜与所述场镜的距离小于所述场镜的焦距;所述场镜位于所述振镜和所述样品表面之间;所述调节部用于调节通过所述扫描探头扫描样品的样品光的光程与所述OCT组件提供的参考光的光程的光程差。所述OCT组件包括光源、分光器、参考臂、光谱仪和控制器;所述参考臂包括所述准直镜和反射镜;所述样品置于置物台上,所述置物台的高度可调节。
其中,所述扫描探头包括光纤插头和聚焦透镜,所述光纤插头、聚焦透镜和振镜依次设置并位于第二光轴上,其中,第一光轴和第二光轴垂直,所述调节部调节所述样品光光程的长度,包括调节所述样品光从所述扫描探头的光纤插头到聚焦透镜之间的光程,或者,调节所述扫描探头与所述样品表面之间的距离。调节所述扫描探头到所述样品表面之间距离的方式,可以是保持所述扫描探头不动,调节所述样品的位置,或是保持所述样品的位置不动,调节所述扫描探头的位置。
其中,所述调节部包括移动件和卡持件,所述移动件与所述卡持件机械性固定连接。所述卡持件用于固定所述光纤插头,所述移动件带动所述卡持件移动,从而调节所述光纤插头与所述聚焦透镜的距离,使得所述样品光光程与所述参考光光程相等。或者,所述卡持件用于卡持承载所述样品的所述置物台或者扫描探头,所述移动件带动所述卡持件移动,从而调节所述样品或所述扫描探头的位置,以使所述样品光光程与所述参考光光程相等。所述移动件包括具有移动功能的所有器件,所述移动件可以通过手动移动,也可以自动移动。所述卡持件包括抓手及所有起固定作用的部件。所述置物台包括但不限于可调节高度的升降台。
其中,所述调节部包括移动件、第一调节镜和与第一调节镜间隔相对设置的第二调节镜,所述第一调节镜包括至少两个第一反射面,所述至少两个第一反射面呈夹角设置;所述第二调节镜包括与所述第一反射面相对应的第二反射面,且一个第一反射面与一个第二反射面间隔相对设置,所述第二调节镜包括的至少两个第二反射面之间的夹角与所述第一调节镜的夹角相同。所述第一反射面位于所述聚焦透镜的光路上,且所述聚焦透镜的光路上的光线经过所述第一反射面与所述第二反射面之间的反射后进入所述振镜,所述第一调节镜与所述第二调节镜之间的间隔可根据实际需要调节,在所述参考光光程不变的情况下,通过所述移动件带动所述第二调节镜相对第一调节镜移动,调节所述第一反射面与第二反射面之间的距离,以使所述样品光光程与所述参考光光程相等。
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