[发明专利]一种全自动探针检测台及其探针定位模组

摘要

本发明公开了一种探针定位模组，包括探针检测盒，探针检测盒上设置有高倍光源检测模块、低倍光源检测模块、CCD图像传感器、光路切换模块和标靶调节模块，光路切换模块包括通向CCD图像传感器的高低倍光路分光镜、将光线引导至高低倍分光镜的反光镜和高低倍切换机构通过上述设置，使用时先利用低倍光源检测模块进行检测，当CCD图像传感器检测到探针卡位置后，控制切换气缸动作，带动遮挡板进行移动，切换至高倍光源检测模块，对探针位置进行精确定位，无需设置探针卡参数，检测效率高，本发明还公开了采用该探针定位模组的全自动探针检测台。

主权项

1.一种探针定位模组，包括探针检测盒(26)，其特征在于，所述探针检测盒(26)上设置有：高倍光源检测模块(21)，用于识别探针的精确位置坐标；低倍光源检测模块(22)，用于初步识别探针卡的位置坐标；CCD图像传感器(24)，将采集到图像转化为数字信号；光路切换模块(23)，将高倍光源检测模块(21)和低倍光源检测模块(22)与CCD图像传感器(24)连接；和标靶调节模块(25)，用于辅助定位，所述光路切换模块(23)包括通向CCD图像传感器(24)的高低倍光路分光镜(232)、将光线引导至高低倍分光镜(222)的反光镜(233)和高低倍切换机构(231)，所述高低倍切换机构(231)包括转动连接在探针检测盒(26)内的切换连杆(234)，驱动切换连杆(234)转动的切换气缸(235)以及被切换连杆(234)带动的遮挡板(237)，所述遮挡板(237)移动过程中分别对高倍光源检测模块(21)和低倍光源检测模块(22)进行遮挡。