[发明专利]一种全自动探针检测台及其探针定位模组

权利要求书

1.一种探针定位模组，包括探针检测盒(26)，其特征在于，所述探针检测盒(26)上设置有：

高倍光源检测模块(21)，用于识别探针的精确位置坐标；

低倍光源检测模块(22)，用于初步识别探针卡的位置坐标；

CCD图像传感器(24)，将采集到图像转化为数字信号；

光路切换模块(23)，将高倍光源检测模块(21)和低倍光源检测模块(22)与CCD图像传感器(24)连接；

和标靶调节模块(25)，用于辅助定位；

所述光路切换模块(23)包括通向CCD图像传感器(24)的高低倍光路分光镜(232)、将光线引导至所述高低倍光路分光镜(232)的反光镜(233)和高低倍切换机构(231)，所述高低倍切换机构(231)包括转动连接在探针检测盒(26)内的切换连杆(234)，驱动切换连杆(234)转动的切换气缸(235)以及被切换连杆(234)带动的遮挡板(237)，所述遮挡板(237)移动过程中分别对高倍光源检测模块(21)和低倍光源检测模块(22)进行遮挡；

所述高低倍切换机构(231)包括固定于探针检测盒(26)的固定板(236)，所述固定板(236)上设置有分别通向高倍光源检测模块(21)和低倍光源检测模块(22)的两个通光孔，所述固定板(236)分为上板和下板，所述上板上开设有牵引缺口，所述遮挡板(237)滑动连接于上板和下板之间，所述遮挡板(237)包括从牵引缺口中伸出的牵引板，所述牵引板在切换连杆(234)的带动下分别对两个通光孔进行遮挡。

2.根据权利要求1所述的探针定位模组，其特征在于，所述低倍光源检测模块(22)包括低倍环形光源(223)、低倍点光源(221)、低倍分光镜(222)和低倍镜头(224)，所述低倍环形光源(223)的中心设置有低倍出射孔，所述低倍分光镜(222)将低倍点光源(221)射出的光线引导至低倍出射孔，低倍出射孔处返回的光线经过低倍分光镜(222)到达低倍镜头(224)，低倍镜头(224)通向所述高低倍光路分光镜(232)，低倍镜头(224)具有可伸缩结构。

3.根据权利要求1所述的探针定位模组，其特征在于，所述高倍光源检测模块(21)包括的高倍环形光源(213)、高倍点光源(211)、高倍分光镜(212)和高倍镜头(214)，高倍环形光源(213)的中心开设有高倍出射孔，所述高倍分光镜(212)将高倍点光源(211)射出的光线引导至高倍出射孔，所述高倍镜头(214)位于高倍分光镜(212)与高倍出射孔之间。

4.根据权利要求1所述的探针定位模组，其特征在于，所述探针检测盒(26)内固定有切换检测开关(239)，所述切换连杆(234)上固定有触发切换检测开关(239)的切换触发片(238)。

5.根据权利要求1所述的探针定位模组，其特征在于，所述标靶调节模块(25)包括标靶固定座(251)、滑动连接在标靶固定座(251)上的对位标靶(253)以及驱动对位标靶(253)移动的标靶驱动气缸(252)，标靶驱动气缸(252)运动过程中，所述对位标靶(253)分别经过低倍光源检测模块(22)和高倍光源检测模块(21)前，所述对位标靶(253)包括滑动块和固定在滑动块上的靶体，所述靶体上设置有标记孔，所述标靶固定座(251)上固定有滑动轨，所述滑动块上开有对应的滑槽。

6.根据权利要求5所述的探针定位模组，其特征在于，所述标靶驱动气缸(252)设置于标靶固定座(251)的侧面，所述靶体上设置有与标靶驱动气缸(252)输出端连接的标靶驱动块。

7.一种全自动探针检测台，其特征在于：包括机体(4)、滑动连接在机体(4)内的工作台(3)、箱盖、连接在箱盖上的探针卡，滑动连接在机体(4)内的芯片定位模组(1)和如权利要求1～6中任意一项所述的探针定位模组。