[发明专利]偏振光照射装置及偏振光照射方法在审
| 申请号： | 201810939344.7 | 申请日： | 2018-08-17 |
| 公开（公告）号： | CN109426036A | 公开（公告）日： | 2019-03-05 |
| 发明（设计）人： | 石井一正 | 申请（专利权）人： | 优志旺电机株式会社 |
| 主分类号： | G02F1/1337 | 分类号： | G02F1/1337 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 苏卉;高培培 |
| 地址： | 日本国东京*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明提供一种偏振光照射装置及偏振光照射方法，能够在避免装置大型化的情况下对工件倾斜地照射偏振光。偏振光照射装置(100)具备：光源(11)；导光光纤(20)，具有供来自光源(11)的光入射的入射端(23)和沿着一方向配置并供从入射端(23)入射的光出射的出射端(22)；透镜单元(30)，具有偏振元件(34)，并使利用偏振元件(34)而使从导光光纤(20)的出射端(22)出射的光发生偏振后的偏振光出射，以形成沿着上述一方向的线状的光照射区域(34)；及倾斜照射机构(40)，以任意的角度固定透镜单元(30)，以对被处理物(工件W)的光照射面倾斜地照射偏振光。 | ||
| 搜索关键词： | 偏振光 偏振光照射装置 偏振光照射 导光光纤 偏振元件 透镜单元 出射端 入射端 出射 光源 照射 光照射区域 被处理物 避免装置 方向配置 光照射面 角度固定 倾斜照射 光出射 光入射 偏振 入射 线状 | ||
【主权项】：
1.一种偏振光照射装置，其特征在于，具备：光源；导光光纤，具有供来自所述光源的光入射的入射端和沿着一方向配置并供从所述入射端入射的光出射的出射端；透镜单元，具有偏振元件，并使利用所述偏振元件而使从所述导光光纤的所述出射端出射的光发生偏振后的偏振光出射，以形成沿着所述一方向的线状的光照射区域；及倾斜照射机构，以任意的角度固定所述透镜单元，以对被处理物的光照射面倾斜地照射所述偏振光。
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