[发明专利]一种纳米多孔硅双凹透镜的制备方法有效
| 申请号： | 201810935379.3 | 申请日： | 2018-08-16 |
| 公开（公告）号： | CN109056049B | 公开（公告）日： | 2020-08-04 |
| 发明（设计）人： | 龙永福 | 申请（专利权）人： | 湖南文理学院 |
| 主分类号： | G02B3/00 | 分类号： | G02B3/00;C25F3/30 |
| 代理公司： | 常德市源友专利代理事务所(特殊普通合伙) 43208 | 代理人： | 江妹 |
| 地址： | 415000 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种纳米多孔硅双凹透镜的制备方法，该方法是将常规作为电极的铂片做成空心球体并把从空心球体上截得的两个相对称的球冠做成电极，在两个球冠电极之间放置硅片，且两个球冠电极的两个凸面均面对硅片，硅片将腐蚀液分隔成两个独立的部分；先采用恒流源对硅片进行电抛光而使硅片前后两面形成同样的凹形球表面；再将两个对称的球冠电极换成平行的板式电极，对硅片两面进行电化学腐蚀而形成多孔双凹透镜。通过本发明的方法，能获得纳米多孔硅双凹透镜，能广泛应用于微光机电系统，为微光机电系统领域作出了重大的贡献。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 纳米 多孔 凹透镜 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种纳米多孔硅双凹透镜的制备方法，其特征在于，该方法是将常规作为电极的铂片做成空心球体并把从空心球体上截得的两个相对称的球冠做成电极，在两个球冠电极之间放置硅片，且两个球冠电极的两个凸面均面对硅片，两个球冠电极底面均与硅片所在平面平行，硅片中心轴线、球冠电极的圆心与球冠电极的中心轴线重合，硅片离左、右两个球冠电极的距离相等，硅片将腐蚀液分隔成两个独立的部分；先采用恒流源对硅片进行电抛光而使硅片前后两面形成同样的凹形球表面；再将两个对称的球冠电极换成平行的板式电极，对硅片两面进行电化学腐蚀而形成多孔双凹透镜。
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