[发明专利]一种太阳能电池钝化减反膜及其镀膜工艺

摘要

一种太阳能电池钝化减反膜，所述减反膜由四层氮化硅膜叠加组合而成，所述氮化硅膜由内而外分别为膜层一、膜层二、膜层三和膜层四，所述膜层一至膜层三为均匀折射率膜层，所述膜层四为折射率渐变膜层，且膜层四渐变方向为由内而外逐渐降低，所述膜层四通过控制氨气、硅烷流量变化速率制作渐变膜层，本发明在减反膜最外层设置折射率渐变膜层，使入射光进入膜层后直接接触渐变膜层，减缓了入射光进入电池片后的折射梯度，改善了入射光进入SiNx膜大角度折射造成的光损失，同时改善了不同介质层之间的界面缺陷，增强对短波光的吸收。

主权项

1.一种太阳能电池钝化减反膜，其特征在于所述减反膜由四层氮化硅膜叠加组合而成，所述氮化硅膜由内而外分别为膜层一、膜层二、膜层三和膜层四，所述膜层一至膜层三为均匀折射率膜层，所述膜层四为折射率渐变膜层，且膜层四渐变方向为由内而外逐渐降低，所述膜层四通过控制氨气、硅烷流量变化速率制作渐变膜层，所述氨气、硅烷流量变化速率为：氨气流量变化速率=（氨气流量终止值‑氨气流量起始值）/镀膜时间；硅烷流量变化速率=（硅烷流量起始值‑硅烷流量终止值）/镀膜时间；所述氨气流量终止值大于氨气流量起始值，所述硅烷流量起始值大于硅烷流量终止值。