[发明专利]一种双面往返连续真空镀膜设备在审
申请号: | 201810892739.6 | 申请日: | 2018-08-07 |
公开(公告)号: | CN108624860A | 公开(公告)日: | 2018-10-09 |
发明(设计)人: | 严佐毅;刘文卿 | 申请(专利权)人: | 安徽金美新材料科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/56 | 分类号: | C23C14/56 |
代理公司: | 北京挺立专利事务所(普通合伙) 11265 | 代理人: | 叶树明 |
地址: | 安徽省淮南市寿县新桥国际产业园新*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本发明公开了一种双面往返连续真空镀膜设备,包括真空腔体,所述真空腔体内设置有上收放卷机构、上传送机构、下传送机构及下收放卷机构;所述下收放卷机构及下传送机构分别位于上收放卷机构及上传送机构的下方,待镀膜材料从上或下收放卷机构开始依次经过上或下传送机构、下或上传送机构后回到下或上收放卷机构;与所述上传送机构及下传送机构处的待镀膜材料对应的位置处均设置有一套镀膜装置。本发明通过设置上下两个收放卷机构以及上下两个镀膜装置,能够在真空腔体内实现连续往返镀膜,极大地提高了工作效率。 | ||
搜索关键词: | 传送机构 收放卷机构 连续真空镀膜 镀膜材料 镀膜装置 真空腔 往返 体内 工作效率 真空腔体 位置处 镀膜 | ||
【主权项】:
1.一种双面往返连续真空镀膜设备,其特征在于,包括真空腔体,所述真空腔体内设置有上收放卷机构、上传送机构、下传送机构及下收放卷机构;所述下收放卷机构及下传送机构分别位于上收放卷机构及上传送机构的下方,待镀膜材料从上或下收放卷机构开始依次经过上或下传送机构、下或上传送机构后回到下或上收放卷机构;与所述上传送机构及下传送机构处的待镀膜材料对应的位置处均设置有一套镀膜装置。
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