[发明专利]一种双面往返连续真空镀膜设备

说明书

本发明公开了一种双面往返连续真空镀膜设备，包括真空腔体，所述真空腔体内设置有上收放卷机构、上传送机构、下传送机构及下收放卷机构；所述下收放卷机构及下传送机构分别位于上收放卷机构及上传送机构的下方，待镀膜材料从上或下收放卷机构开始依次经过上或下传送机构、下或上传送机构后回到下或上收放卷机构；与所述上传送机构及下传送机构处的待镀膜材料对应的位置处均设置有一套镀膜装置。本发明通过设置上下两个收放卷机构以及上下两个镀膜装置，能够在真空腔体内实现连续往返镀膜，极大地提高了工作效率。

技术领域

本发明属于镀膜设备技术领域，尤其涉及一种双面往返连续真空镀膜设备。

背景技术

出于柔性导电材料的应用需要，为了能够对很薄的薄膜镀较厚的金属导电层，需要开发一种特殊的设备机构。所谓很薄的薄膜一般厚度为2～12μm，材料一般为PP、PE、PET、PI等；所谓较厚的金属层从200～2000nm不等，金属层材料一般为导电材料，如镍、铝、铜、铅、银、金以及合金材料等。要想在薄膜表面获得对应厚度的金属导电层，其最大的难度是沉积效率，一般情况下，受薄膜耐热性能的影响，金属在薄膜表面的单次沉积厚度一般为5～100nm，要想获得200～2000nm厚度的金属导电层，就需要使用多次沉积的方法实现。而薄膜导电层的沉积一般是在真空条件下进行，如果真空设备不能往返镀膜，则每次沉积一层金属层之后都需要开仓，将需要沉积金属层的薄膜卷料进行收放卷换卷，这样操作每次都需要抽放真空，真空设备运行效率很低，如果能够在真空环境中实现往返连续镀膜，则真空镀膜的效率将大大提高。

发明内容

本发明的目的是提供一种双面往返连续真空镀膜设备，解决现有技术中的真空镀膜设备无法往返连续镀膜、效率较低的问题。

本发明所采用的技术方案是：

一种双面往返连续真空镀膜设备，包括真空腔体，所述真空腔体内设置有上收放卷机构、上传送机构、下传送机构及下收放卷机构；所述下收放卷机构及下传送机构分别位于上收放卷机构及上传送机构的下方，待镀膜材料从上或下收放卷机构开始依次经过上或下传送机构、下或上传送机构后回到下或上收放卷机构；与所述上传送机构及下传送机构处的待镀膜材料对应的位置处均设置有一套镀膜装置。

本发明的特点还在于：

所述上传送机构及下传送机构均包括一套皮带轮组件，所述皮带轮组件包括主动皮带轮、传动皮带以及分别设置在所述主动皮带轮两侧的两个棘轮传动件，所述主动皮带轮与两个棘轮传动件通过传动皮带连接。

所述棘轮传动件包括棘轮、棘爪及压缩弹簧，所述棘爪的自由端一侧与棘轮的棘齿啮合，所述棘爪的自由端另一侧与压缩弹簧连接。

所述皮带轮组件还包括冷却主鼓及展平辊，所述冷却主鼓与主动皮带轮同轴连接；所述展平辊设置两个，两个展平辊分别与两个棘轮同轴连接。

所述真空镀膜设备还包括至少一对过辊，所述至少一对过辊设置在上传送机构与下传送机构之间。

所述真空镀膜设备还包括等离子源清洗装置，所述等离子源清洗装置设置在待镀膜材料的一侧用于清洗待镀膜材料。

所述镀膜装置为电阻蒸发装置、中频感应坩埚蒸发装置、磁控溅射装置、电子枪式装置中的一种。

本发明的有益效果是：

与现有技术相比，本发明的一种双面往返连续真空镀膜设备，通过设置上下两个收放卷机构以及上下两个镀膜装置，能够在真空腔体内实现连续往返镀膜，极大地提高了工作效率。

附图说明

图1为本发明一种双面往返连续真空镀膜设备的整体结构示意图；

图2为本发明一种双面往返连续真空镀膜设备中皮带轮组件的结构示意图一；