[发明专利]一种双面往返连续真空镀膜设备在审
| 申请号： | 201810892739.6 | 申请日： | 2018-08-07 |
| 公开（公告）号： | CN108624860A | 公开（公告）日： | 2018-10-09 |
| 发明（设计）人： | 严佐毅;刘文卿 | 申请（专利权）人： | 安徽金美新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56 |
| 代理公司： | 北京挺立专利事务所(普通合伙) 11265 | 代理人： | 叶树明 |
| 地址： | 安徽省淮南市寿县新桥国际产业园新*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 传送机构 收放卷机构 连续真空镀膜 镀膜材料 镀膜装置 真空腔 往返 体内 工作效率 真空腔体 位置处 镀膜 | ||
1.一种双面往返连续真空镀膜设备，其特征在于，包括真空腔体，所述真空腔体内设置有上收放卷机构、上传送机构、下传送机构及下收放卷机构；所述下收放卷机构及下传送机构分别位于上收放卷机构及上传送机构的下方，待镀膜材料从上或下收放卷机构开始依次经过上或下传送机构、下或上传送机构后回到下或上收放卷机构；与所述上传送机构及下传送机构处的待镀膜材料对应的位置处均设置有一套镀膜装置。
2.根据权利要求1所述的一种双面往返连续真空镀膜设备，其特征在于，所述上传送机构及下传送机构均包括一套皮带轮组件，所述皮带轮组件包括主动皮带轮、传动皮带以及分别设置在所述主动皮带轮两侧的两个棘轮传动件，所述主动皮带轮与两个棘轮传动件通过传动皮带连接。
3.根据权利要求2所述的一种双面往返连续真空镀膜设备，其特征在于，所述棘轮传动件包括棘轮、棘爪及压缩弹簧，所述棘爪的自由端一侧与棘轮的棘齿啮合，所述棘爪的自由端另一侧与压缩弹簧连接。
4.根据权利要求3所述的一种双面往返连续真空镀膜设备，其特征在于，所述皮带轮组件还包括冷却主鼓及展平辊，所述冷却主鼓与主动皮带轮同轴连接；所述展平辊设置两个，两个展平辊分别与两个棘轮同轴连接。
5.根据权利要求1-4中任一项所述的一种双面往返连续真空镀膜设备，其特征在于，所述真空镀膜设备还包括至少一对过辊，所述至少一对过辊设置在上传送机构与下传送机构之间。
6.根据权利要求5所述的一种双面往返连续真空镀膜设备，其特征在于，所述真空镀膜设备还包括等离子源清洗装置，所述等离子源清洗装置设置在待镀膜材料的一侧用于清洗待镀膜材料。
7.根据权利要求1-4中任一项所述的一种双面往返连续真空镀膜设备，其特征在于，所述镀膜装置为电阻蒸发装置、中频感应坩埚蒸发装置、磁控溅射装置、电子枪式装置中的一种。
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