[发明专利]表面具凸纹结构薄膜的曲面基板及其制造方法在审
| 申请号： | 201810891845.2 | 申请日： | 2018-08-07 |
| 公开（公告）号： | CN110824844A | 公开（公告）日： | 2020-02-21 |
| 发明（设计）人： | 翁沛喜;许铭案 | 申请（专利权）人： | 许铭案;翁沛喜 |
| 主分类号： | G03F7/09 | 分类号： | G03F7/09;G03F7/11 |
| 代理公司： | 北京汇泽知识产权代理有限公司 11228 | 代理人： | 程殿军 |
| 地址： | 中国台湾新竹*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明涉及曲面基板制造技术领域，具体公开了一种表面具凸纹结构薄膜的曲面基板的制作方法，包含：形成一光阻层于一曲面基板上；以激光直写影像方式于该光阻层进行曝光、固化，以形成至少一图案；及对该光阻层进行显影，以去除未被曝光的该光阻层的部分而使该曲面基板形成具有该至少一图案的该光阻层。本发明还提供一种使表面具凸纹结构薄膜的曲面基板，其是根据本发明的表面具凸纹结构薄膜的曲面基板的制作方法所制作。本发明提供的表面具凸纹结构薄膜的曲面基板及其制作方法，运用激光直写影像技术(Laser Direct Imaging,LDI)与光阻制程，来解决过去运用光阻制程需要光罩的问题，实现无须光罩、制程简单、解析度高、低成本的特殊技术功效。 | ||
| 搜索关键词： | 表面 具凸纹 结构 薄膜 曲面 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
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