[发明专利]一种高速率生长高性能稀土钡铜氧高温超导膜的热处理方法有效
| 申请号： | 201810877306.3 | 申请日： | 2018-08-03 |
| 公开（公告）号： | CN109112483B | 公开（公告）日： | 2019-10-08 |
| 发明（设计）人： | 赵跃;吴蔚;储静远;张智巍;金之俭;洪智勇 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | C23C14/08 | 分类号： | C23C14/08;C23C16/40;C23C18/12;H01B13/00;C23C14/58;C23C16/56 |
| 代理公司： | 上海汉声知识产权代理有限公司 31236 | 代理人： | 庄文莉 |
| 地址： | 200240 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种高速率生长高性能稀土钡铜氧高温超导膜的热处理方法，包括如下步骤：A、在衬底材料上沉积稀土钡铜氧前驱膜；B、将步骤A制备的前驱膜进行熔融然后再凝固的热处理，即可；所述熔融然后再凝固的热处理采用先在760‑850℃下第一次保温1秒‑30分钟，然后在760‑850℃下第二次保温1秒‑30分钟。与现有技术相比，本发明具有如下的有益效果：降低对稀土钡铜氧高温超导前驱膜沉积过程中工艺的要求；采用该热处理工艺可以实现超导膜的高速率生长，生长速率达到1纳米/秒以上，且稀土钡铜氧化物具有优良的超导性能。 | ||
| 搜索关键词： | 热处理 前驱膜 生长 高温超导膜 高性能稀土 稀土钡铜氧 钡铜氧 熔融 沉积 保温 凝固 热处理工艺 超导性能 衬底材料 高温超导 铜氧化物 超导膜 稀土钡 制备 | ||
【主权项】：
1.一种高速率生长高性能稀土钡铜氧高温超导膜的热处理方法，其特征在于，包括以下步骤：A、在衬底材料上沉积稀土钡铜氧前驱膜；B、将步骤A制备的前驱膜进行熔融然后再凝固的热处理，即可；步骤B中，所述熔融然后再凝固的热处理采用先在760‑850℃下第一次保温1秒‑30分钟，然后在760‑850℃下第二次保温1秒‑30分钟；所述熔融然后再凝固的热处理在含氧气氛下进行；第一次保温采用的含氧量为1ppm‑0.1%，第二次保温采用的含氧量为20ppm‑100%。
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