[发明专利]一种基于电沉积法的空心纳米针制备方法在审
| 申请号： | 201810870346.5 | 申请日： | 2018-08-02 |
| 公开（公告）号： | CN109097752A | 公开（公告）日： | 2018-12-28 |
| 发明（设计）人： | 谢曦;杭天;何根;崔国峰;陈惠琄;刘繁茂;吴江明;杨成端;张爱华 | 申请（专利权）人： | 中山大学 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/20;C25D3/50;C25D9/02;C25D5/52 |
| 代理公司： | 广州新诺专利商标事务所有限公司 44100 | 代理人： | 曹爱红 |
| 地址： | 510275 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明属于生物与医用技术领域，特别涉及一种基于电沉积法的空心纳米针制备方法，其具体步骤是：(1)对高分子膜进行预处理；(2)电沉积镀管壁工序；(3)抛光工序；(4)刻蚀工序：获得一定宽径比的空心纳米针管；(5)表征分析所制备的空心纳米管的物理性质。该空心纳米针制备方法有效地解决了ALD技术制备的实验条件难以获得、沉积温度高、沉积速率过低等问题，该制备方法简单易于实现，制备过程所需的设备成本低，制备所需的条件要求低，室温条件即可进行。 | ||
| 搜索关键词： | 制备 空心纳米 电沉积法 沉积 预处理 表征分析 高分子膜 刻蚀工序 抛光工序 设备成本 实验条件 室温条件 条件要求 物理性质 医用技术 制备过程 电沉积 宽径比 有效地 管壁 针管 | ||
【主权项】：
1.一种基于电沉积法的空心纳米针制备方法，其具体步骤是：(1)对高分子膜进行预处理：即在高分子膜表面溅射一层金属薄膜作为导电层；(2)电沉积镀管壁工序：在高分子膜表面和孔内部电镀金属或导电聚合物薄膜；(3)抛光工序：通过抛光去除高分子膜表面电沉积后的多余金属层，只留下孔内壁的镀层；(4)刻蚀工序：通过氧等离子体刻蚀工艺获得一定宽径比的空心纳米针管；(5)表征分析所制备的空心纳米管的物理性质。
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